特許
J-GLOBAL ID:201303033887706747
光電変換装置、光検出装置、及び光検出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
長谷川 芳樹
, 諏澤 勇司
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2010065052
公開番号(公開出願番号):WO2011-027830
出願日: 2010年09月02日
公開日(公表日): 2011年03月10日
要約:
簡易な製造工程によって製造が可能であり、広い波長領域において光電変換が可能で、かつ赤外波長領域においても高い光電変換効率を有する光電変換装置、光検出装置、及び光検出方法を提供することを目的とする。この光電変換装置1は、単結晶酸化チタンを含む基板2と、基板2の表面2a上に形成された密着層2cと、密着層2cの表面上に所定の間隔で所定方向に沿って配置された体積が1,000nm3以上3,000,000nm3以下の金属微細構造体3と、基板2の表面2a上の金属微細構造体3の配置領域に電解質溶液Lを収容する容器4と、基板2の裏面2bに形成された導電層7と、容器4内の電解質溶液Lに接触する対電極5と、を備え、金属微細構造体3は、密着層2cを介して基板2に付着されており、基板2の金属微細構造体3との界面には、ショットキーバリアが形成されており、プラズモン共鳴現象によって赤外領域の光に対して光電変換を行う。
請求項(抜粋):
単結晶酸化チタンを含む基板と、
前記基板の表面上に形成された金属薄膜である密着層と、
前記密着層の表面上に所定の間隔で所定方向に沿って配置された体積が1,000nm3以上3,000,000nm3以下の金属構造体と、
前記基板の表面上の前記金属構造体の配置領域に電解質溶液を収容する容器と、
前記基板の裏面に形成された導電層と、
前記容器内の前記電解質溶液に接触する対電極と、
を備え、
前記金属構造体は、前記密着層を介して前記基板に付着されており、
前記基板の金属構造体との界面には、ショットキーバリアが形成されており、
プラズモン共鳴現象によって赤外領域の光に対して光電変換を行う、
ことを特徴とする光電変換装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01M14/00 P
, H01L31/04 Z
Fターム (9件):
5F151AA14
, 5H032AA06
, 5H032AS06
, 5H032AS16
, 5H032BB09
, 5H032CC16
, 5H032CC27
, 5H032EE07
, 5H032EE18
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