特許
J-GLOBAL ID：201303035366661758

単量体、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法

発明者：
提箸 正義

提箸 正義 について

, 
畠山 潤

畠山 潤 について

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長谷川 幸士

長谷川 幸士 について

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片山 和弘

片山 和弘 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (4件)： 小島 隆司 ,  重松 沙織 ,  小林 克成 ,  石川 武史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-026798
公開番号（公開出願番号）：特開2013-163652
出願日： 2012年02月10日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
要約：
【解決手段】式(1A)又は(1B)の単量体。(R1は水素原子、メチル基等を、R2は炭素数3〜15の環状の1価の炭化水素基を、R3、R4、R5はそれぞれ独立に炭素数1〜15の直鎖状等の1価の炭化水素基を、X1、X2は単結合又は炭素数1〜4の直鎖状等の2価の炭化水素基を、k1は1〜3の整数を、Z1は、これが結合する炭素原子と共に炭素数5〜15の脂環基を示す。)【効果】未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く溶解コントラストが高い特徴を有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記一般式(1A)又は(1B)で示される単量体。
IPC (7件)：
C07C 69/54 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039 ,  C07C 69/533 ,  C08F 20/10 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
C07C69/54 B ,  G03F7/32 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/039 601 ,  C07C69/533 ,  C08F20/10 ,  H01L21/30 502R
Fターム (88件)：
2H096AA25 ,  2H096BA01 ,  2H096BA11 ,  2H096EA05 ,  2H096EA23 ,  2H096GA03 ,  2H096GA08 ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF34P ,  2H125AF38P ,  2H125AF41P ,  2H125AH04 ,  2H125AH11 ,  2H125AH12 ,  2H125AH14 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH23 ,  2H125AH25 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ12X ,  2H125AJ12Y ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ69X ,  2H125AJ84Y ,  2H125AM22P ,  2H125AM99P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN88P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB46 ,  4H006BM10 ,  4H006BM71 ,  4H006BP20 ,  4H006BP40 ,  4H006KE20 ,  4J100AK32Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100BA02P ,  4J100BA02R ,  4J100BA02S ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA15R ,  4J100BA20Q ,  4J100BA40S ,  4J100BA56S ,  4J100BB18S ,  4J100BC03P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC03R ,  4J100BC03S ,  4J100BC07Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC09S ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53S ,  4J100BC58P ,  4J100BC58Q ,  4J100BC60R ,  4J100BC84R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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