表面検査方法及びその装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-012747
公開番号（公開出願番号）：特開2013-152128
出願日： 2012年01月25日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
要約：

【課題】試料の表面の特徴点を抽出する表面検査装置において、特徴点の凹凸形状に依存しないように複数の方向から照明して撮像する場合に、コントラストが下がらないようにして画像を取得できるようにする。【解決手段】試料表面を検査する表面検査装置を、光源手段と、撮像手段と、画像処理手段と、出力手段とを備えて構成し、光源手段は、複数の光源を有して該複数の光源により試料上の同じ領域に斜め方向から光を照射し、撮像手段は、光源手段の複数の光源により光が照射された試料上の領域を試料の表面の法線方向から撮像して複数の光源のそれぞれに対応させて複数の画像を取得し、画像処理手段は、撮像手段で取得された試料上の領域の複数の画像から合成画像を作成し、該作成した合成画像を処理して前記試料の表面の特徴点を検出するようにした。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

試料表面を検査する表面検査装置であって、試料の表面に光を照射する光源手段と、該光源手段により光が照射された前記試料の表面を撮像して該表面の光学像を取得する撮像手段と、該撮像手段で撮像して得た前記試料表面の画像を処理して前記試料の表面の特徴点検出する画像処理手段と、該画像処理手段で検出した前記試料の表面の特徴点に関する情報を出力する出力手段とを備え、前記光源手段は、複数の光源を有して該複数の光源により前記試料上の同じ領域に斜め方向から光を照射し、前記撮像手段は、前記光源手段の前記複数の光源により光が照射された前記試料上の領域を前記試料の表面の法線方向から撮像して前記複数の光源のそれぞれに対応させて複数の画像を取得し、前記画像処理手段は、前記撮像手段で取得された前記試料上の領域の複数の画像から合成画像を作成し、該作成した合成画像を処理して前記試料の表面の特徴点を検出することを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01N 21/95

FI (2件)：

G01N21/88 J , G01N21/95 A

Fターム (21件)：

2G051AA90 , 2G051AB07 , 2G051BA02 , 2G051BA08 , 2G051BB02 , 2G051BC03 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CC11 , 2G051DA01 , 2G051DA08 , 2G051DA15 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051EA17 , 2G051EA25 , 2G051EB01 , 2G051ED08 , 2G051FA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

表面性状検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-038683 出願人：株式会社豊田中央研究所
高さ測定装置および高さ測定方法および観測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-089854 出願人：オムロン株式会社
車両検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-047545 出願人：株式会社日立製作所, 東海旅客鉄道株式会社

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