特許

J-GLOBAL ID：201303036958160537

MEMS素子、光スイッチ、波長選択光スイッチ、波長ブロッカー、およびビームステアリング方法

発明者： 木村 賢宜 ,  小栗 淳司 ,  松浦 寛
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (2件)： 酒井 宏明 ,  田代 至男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-077901
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205799
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：

【課題】光を任意の方向へビームステアリングできるMEMS素子、光スイッチ、波長選択光スイッチ、波長ブロッカー、およびビームステアリング方法を提供すること。【解決手段】互いに隣接するように配列され、表面にミラー面を有する複数のマイクロミラーと、前記複数のマイクロミラーの各ミラー面とは反対側の面に対向して配置された複数の電極と、前記複数のマイクロミラーと前複数の電極間に、前記複数のマイクロミラーを前記複数の電極側に変位させるための電圧を印加する制御部と、を備え、前記制御部は、前記複数のマイクロミラーの位相差が一定の隣接間位相差で配列方向に向かって増加または減少するように該複数のマイクロミラーを変位させる電圧を印加し、これによって、前記ミラー面に入力された光が前記隣接間位相差より定まる反射角で反射されるMEMS素子。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

互いに隣接するように配列され、表面にミラー面を有する複数のマイクロミラーと、 前記複数のマイクロミラーの各ミラー面とは反対側の面に対向して配置された複数の電極と、 前記複数のマイクロミラーと前複数の電極間に、前記複数のマイクロミラーを前記複数の電極側に変位させるための電圧を印加する制御部と、 を備え、前記制御部は、前記複数のマイクロミラーの位相差が一定の隣接間位相差で配列方向に向かって増加または減少するように該複数のマイクロミラーを変位させる電圧を印加し、これによって、前記ミラー面に入力された光が前記隣接間位相差より定まる反射角で反射されることを特徴とするMEMS素子。

IPC (2件)：

G02B 26/08 ,  B81B 3/00

FI (2件)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00

Fターム (13件)：

2H141MA12 ,  2H141MB29 ,  2H141MC06 ,  2H141MZ16 ,  3C081AA13 ,  3C081BA28 ,  3C081BA33 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081BA72 ,  3C081EA08 ,  3C081EA09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光変調素子及びそれを利用した光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-232946   出願人：キヤノン株式会社
• 光スイッチ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-191479   出願人：オリンパス株式会社
• 空間変調器及び画像表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-358206   出願人：ソニー株式会社