特許
J-GLOBAL ID：200903059363596835

光変調素子及びそれを利用した光学装置

発明者：
山添 賢治

山添 賢治 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-232946
公開番号（公開出願番号）：特開2006-119601
出願日： 2005年08月11日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：
【課題】 所望の次数の回折光を効率的に取り出すことが可能な位相変調型の光変調素子及びそれを利用した露光装置を提供する。【解決手段】 入射光の位相分布を変調する光変調素子であって、前記入射光に3種類以上の位相差を与える要素を有し、前記要素は、変位可能な光反射帯を3つ以上含んでおり、前記要素を含む画素を複数有することを特徴とする光変調素子を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
入射光の位相分布を変調する光変調素子であって、 前記入射光に3種類以上の位相差を与える要素を有し、 前記要素は、変位可能な光反射帯を3つ以上含んでおり、 前記要素を含む画素を複数有することを特徴とする光変調素子。
IPC (3件)：
G02B 26/00 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G02B26/00 ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 519 ,  H01L21/30 515D
Fターム (11件)：
2H041AA05 ,  2H041AA23 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ05 ,  2H097EA01 ,  2H097GB04 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046AA25 ,  5F046CB18
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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