特許

J-GLOBAL ID：201303037269128533

多層面状ヒーター

発明者： 蜂谷 真弓 ,  長濱 幸一
出願人/特許権者： 株式会社アルファ・オイコス
代理人 (2件)： 澤木 誠一 ,  澤木 紀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-097879
公開番号（公開出願番号）：特開2013-225448
出願日： 2012年04月23日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：

【課題】従来の面状ヒーターではその加熱量、温度勾配、加熱パターンの変更には限度があった。【解決手段】本発明においては、絶縁材上に1個または複数の発熱体を配置した面状ヒーター素子の複数を上下に積層して多層面状ヒーターを形成する。上記複数の面状ヒーター素子における上記発熱体は波形にした帯状発熱体であり、この帯状発熱体の幅や波形のピッチが互いに異なる。上記面状ヒーター素子の上記絶縁材の一面には発熱体が配置され、他面には上記発熱体の電源端子取り出し部領域が形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁材上に1個または複数の発熱体を配置した面状ヒーター素子の複数を上下に積層して成ることを特徴とする多層面状ヒーター。

IPC (4件)：

H05B 3/06 ,  H05B 3/68 ,  H05B 3/02 ,  H05B 3/00

FI (4件)：

H05B3/06 ,  H05B3/68 ,  H05B3/02 B ,  H05B3/00 370

Fターム (12件)：

3K058AA65 ,  3K058BA19 ,  3K058CE32 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB26 ,  3K092QB45 ,  3K092QC43 ,  3K092RF19 ,  3K092RF22 ,  3K092VV21 ,  3K092VV40

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウェハ保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-074081   出願人：京セラ株式会社
• ヒータユニット及びそれを備えた装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-093408   出願人：住友電気工業株式会社