特許

J-GLOBAL ID：201303037301298136

位置検出装置、インプリント装置及び位置検出方法

発明者： 箕田 賢 ,  塩出 吉宏 ,  三島 和彦 ,  前田 普教 ,  岩井 俊樹
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-134845
公開番号（公開出願番号）：特開2013-030757
出願日： 2012年06月14日
公開日（公表日）： 2013年02月07日
要約：

【課題】 位置合わせに用いるマークからの光量を多くして検出しやすくする位置検出装置、及び、それを用いたインプリント装置を提供する。【解決手段】 本発明の位置検出装置は、第一方向と、第一方向と異なる第二方向にそれぞれ周期をもつ第一回折格子と、第1回折格子の第二方向の周期と異なる周期を第二方向にもつ第二回折格子と、を斜入射照明する照明光学系と、第一回折格子と第二回折格子とからの回折光を検出する検出光学系と、を備え、検出した回折光に基づいて第一回折格子と第二回折格子との第二方向に関する相対的な位置を検出する位置検出装置であって、照明光学系はその瞳面において、第一方向に、複数の極を有する光を照明することを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

第一方向と、第一方向と異なる第二方向にそれぞれ周期をもつ第一回折格子と、該第一回折格子の第二方向の周期と異なる周期を第二方向にもつ第二回折格子と、を斜入射照明する照明光学系と、 前記第一回折格子と前記第二回折格子とからの回折光を検出する検出光学系と、を備え、 検出した前記回折光に基づいて前記第一回折格子と前記第二回折格子との第二方向に関する相対的な位置を検出する位置検出装置であって、 前記照明光学系はその瞳面において、第一方向に、複数の極を有する光を照明すること を特徴とする位置検出装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G01D 5/38 ,  G01D 5/347 ,  G01B 11/00 ,  B29C 39/10 ,  B29C 39/44

FI (9件)：

H01L21/30 502D ,  H01L21/30 507H ,  G01D5/38 A ,  G01D5/347 110D ,  G01B11/00 G ,  B29C39/10 ,  B29C39/44 ,  H01L21/30 502M ,  H01L21/30 522D

Fターム (44件)：

2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065BB02 ,  2F065BB15 ,  2F065BB18 ,  2F065BB27 ,  2F065CC17 ,  2F065DD05 ,  2F065FF06 ,  2F065FF41 ,  2F065FF48 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL00 ,  2F065LL42 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065TT02 ,  2F103BA27 ,  2F103BA42 ,  2F103CA04 ,  2F103CA05 ,  2F103EB14 ,  2F103EC12 ,  2F103EC13 ,  4F204AA44 ,  4F204AD02 ,  4F204AG19 ,  4F204AK03 ,  4F204AP06 ,  4F204EA03 ,  4F204EB01 ,  4F204EB11 ,  4F204EF23 ,  4F204EK17 ,  4F204EK18 ,  5F146AA31 ,  5F146EA07 ,  5F146ED01 ,  5F146FA03 ,  5F146FA11 ,  5F146FB09 ,  5F146FB12 ,  5F146FB14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 位置合わせ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-255429   出願人：株式会社ニコン
• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-003858   出願人：株式会社ニコン
• 空間位相フィーチャ・ロケーション
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-536933   出願人：モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-106556   出願人：株式会社ニコン