特許
J-GLOBAL ID：201303037416260965
放電装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
千葉 剛宏
, 宮寺 利幸
, 大内 秀治
, 仲宗根 康晴
, 坂井 志郎
, 山野 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-283275
公開番号（公開出願番号）：特開2013-138008
出願日： 2012年12月26日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
要約：
【課題】供給電力を低減することができると共に、ランニングコスト等のコストの低廉化を図ることができ、しかも、出力効率を高めることができる放電装置を提供する。【解決手段】パルス制御部は、第1区間T1において、高エネルギーの1以上の第1パルスP1を一対の電極間に印加して、該一対の電極間での放電破壊を促進させるように制御し、一対の電極間で放電破壊が実現した後の第2区間T2に、第1パルスP1よりも低エネルギーの2以上の第2パルスP2を印加して、一対の電極間での放電破壊を維持させるように制御する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
一対の電極と、前記一対の電極間にパルスを印加するパルス生成部と、前記一対の電極間に放電を発生させるように前記パルス生成部を制御するパルス制御部とを有する放電装置において、
前記パルス制御部は、
第1区間において、高エネルギーの1以上の第1パルスを前記一対の電極間に印加して、前記一対の電極間での放電破壊を促進させるように制御する第1制御部と、
前記一対の電極間で放電破壊が実現した後の第2区間に、前記第1パルスよりも低エネルギーの2以上の第2パルスを印加して、前記一対の電極間での放電破壊を維持させるように制御する第2制御部とを有することを特徴とする放電装置。
IPC (6件)：
H05H 1/24
, H01T 13/52
, H01T 13/50
, H05H 1/46
, H01L 21/306
, H01L 21/205
H05H1/24
, H01T13/52
, H01T13/50
, H05H1/46 R
, H01L21/302 101B
, H01L21/205
5F004BA04
, 5F004BB11
, 5F004CA07
, 5F045AA08
, 5F045EH12
, 5F045EH20
, 5G059CC02
, 5G059CC11
, 5G059DD23
, 5G059EE23
, 5G059FF06
, 5G059FF08
