装置、方法、およびリボン

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：龍華明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-265742
公開番号（公開出願番号）：特開2013-078801
出願日： 2012年12月04日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
要約：

【課題】フラットパネル修復に、検査切断修復結合ツール及び独立体積修復ツールの2種類が必要である【解決手段】装置は、統合された検査機能と、材料除去機能と、材料堆積機能とを備え、検査動作、材料除去動作、及び材料堆積動作を同じ光軸に沿って実行する。装置は、部分的に、カメラと、一対のレンズと、1つ又は複数のレーザとを備える。第1のレンズは、検査を受けているターゲット基板上に形成される構造上に光軸に沿ってカメラを合焦させるために使用される。第1のレンズは、検査された構造が材料除去を必要としていると識別される場合、構造上にレーザビームを合焦させて、その構造上に存在する材料を除去するためにも使用される。第2のレンズは、検査された構造が材料堆積を必要としていると識別される場合、レーザビームをリボン上に合焦させて、リボンに形成された埋め込みウェルから流動的複合物を構造に転写するために使用される。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

カメラ及び照明器を備えるイメージングブロックと、前記イメージングブロックの光路と同軸に選択的に位置決めされる第1のレンズであって、前記カメラを前記基板上に形成される構造に合焦させて、該構造の検査を可能にする、第1のレンズと、前記イメージングブロックの光路と同軸の光路を有するレーザビームを送出するレーザアセンブリであって、前記第1のレンズは、さらに、前記検査された構造が材料除去を必要としていると識別される場合、前記レーザビームを前記構造上に合焦させて、該構造に存在する材料を除去するレーザアセンブリと、流動性複合物でコーティングされたリボンを搬送し、前記レーザビームの前記経路内に位置決めするキャリッジアセンブリと、前記検査された構造が材料転写を必要としていると識別される場合、前記イメージングブロックの前記光路と同軸に選択的に位置決めされる第2のレンズであって、前記リボン上に前記レーザビームを合焦させて、前記レーザビームの前記経路内に位置決めされた前記流動性複合物を前記構造に転写する第2のレンズと、前記イメージングブロックの前記光路と同軸の光路を有すると共に、前記材料除去中に、前記基板と前記第1のレンズとの間の距離を所定の範囲内に維持するオートフォーカスセンサであって、該オートフォーカスセンサはまた、前記流動性複合物の転写中に、前記リボンと前記第2のレンズとの間の距離を所定の範囲内に維持するオートフォーカスセンサと、を備える、装置。

IPC (10件)：

B23K 26/00 , B23K 26/36 , B23K 26/04 , B23K 26/02 , G02F 1/13 , G02F 1/136 , H01L 21/320 , H01L 21/768 , H01L 23/522 , G01N 21/956

FI (11件)：

B23K26/00 P , B23K26/00 H , B23K26/00 N , B23K26/00 M , B23K26/36 , B23K26/04 C , B23K26/02 A , G02F1/13 101 , G02F1/1368 , H01L21/88 Z , G01N21/956 Z

Fターム (33件)：

2G051AA73 , 2G051AA84 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051CC09 , 2G051CD02 , 2G051DA17 , 2G051DA20 , 2H088FA15 , 2H088FA30 , 2H088HA02 , 2H088HA08 , 2H088MA20 , 2H092JA26 , 2H092MA35 , 2H092MA47 , 2H092MA52 , 2H092MA55 , 2H092NA15 , 2H092NA16 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 4E068AH00 , 4E068CA11 , 4E068CA14 , 4E068CB02 , 4E068CC02 , 4E068DA10 , 4E068DB11 , 5F033PP00 , 5F033QQ53 , 5F033XX36 , 5F033XX37

引用特許：

出願人引用 (1件)

パターン基板の欠陥修正方法及び欠陥修正装置並びにパターン基板製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-361453 出願人：レーザーテック株式会社

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