特許

J-GLOBAL ID：201303038036610609

形状測定装置、形状測定方法、構造物製造システム及び構造物の製造方法

発明者： 工藤 浩一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-203436
公開番号（公開出願番号）：特開2013-064644
出願日： 2011年09月16日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：

【課題】測定対象物の形状を高精度で測定できる形状測定装置、形状測定方法、及び構造物の製造方法を提供すること。【解決手段】被測定物に所定の光量分布を有するパターン光を形成する照明部と、光が被測定物に照射される照射方向と異なる方向から被測定物に照射されたパターン光の像を撮像する撮像素子を含む撮像部と、像の撮像信号を評価する評価部と、評価部の評価結果に基づき撮像部の撮像結果に対して所定の処理を行うことで被測定物の位置情報を算出する処理部と、を備える形状測定装置に関する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定物に所定の光量分布を有するパターン光を形成する照明部と、 前記光が前記被測定物に照射される照射方向と異なる方向から前記被測定物に照射された前記パターン光の像を撮像する撮像素子を含む撮像部と、 前記像の撮像信号を評価する評価部と、 該評価部の該評価結果に基づき前記撮像部の撮像結果に対して所定の処理を行うことで前記被測定物の位置情報を算出する処理部と、 を備えることを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/25

FI (1件)：

G01B11/25 H

Fターム (26件)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF15 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM07 ,  2F065MM08 ,  2F065PP11 ,  2F065PP22 ,  2F065PP25 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065SS04 ,  2F065UU03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 3次元処理装置における3次元データの表示制御方法および3次元処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-032352   出願人：コニカミノルタセンシング株式会社
• 特開平1-119704
  
• 三次元形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-174096   出願人：コニカミノルタセンシング株式会社
• 特開平1-119704