特許
J-GLOBAL ID：201303038383386565

荷電粒子ビームの軸合わせ方法および荷電粒子ビーム装置

発明者：
山田 貢

山田 貢 について

, 
中村 元弘

中村 元弘 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (2件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-127049
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251225
出願日： 2012年06月04日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：
【課題】容易に荷電粒子ビームの軸合わせができる荷電粒子ビームの軸合わせ方法を提供する。【解決手段】荷電粒子ビームの軸合わせ方法は、第1アライメントコイルの励磁電流、および第2アライメントコイルの励磁電流の条件を変えて、荷電粒子ビームの経路に配置された遮蔽部材を前記荷電粒子ビームによって走査することにより、第1〜第3画像データを取得する画像データ取得工程S10と、画像データ取得工程で取得した前記第1〜第3画像データに基づいて、荷電粒子ビームの軸合わせのための第1アライメントコイルの励磁電流値および第2アライメントコイルの励磁電流値を算出する演算工程S11〜S13と、を含む。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを第1方向に偏向させる第1アライメントコイル、および前記荷電粒子ビームを前記第1方向と交差する第2方向に偏向させる第2アライメントコイルによって前記荷電粒子ビームの軸を調整し、対物レンズによって前記荷電粒子ビームを集束させて被照射物に照射し、前記被照射物から発生した信号を検出して画像データを取得する荷電粒子ビーム装置における荷電粒子ビームの軸合わせ方法であって、 前記荷電粒子ビームの走査エリアの一部が遮蔽されて遮蔽領域が形成されるように前記荷電粒子ビームの走査を行い、当該走査を前記第1アライメントコイルの励磁電流、および前記第2アライメントコイルの励磁電流の条件を変えて繰り返すことにより、少なくとも第1〜第3画像データを取得する画像データ取得工程と、 前記画像データ取得工程で取得した前記第1〜第3画像データに基づいて、前記荷電粒子ビームの軸合わせのための前記第1アライメントコイルの励磁電流値および前記第2アライメントコイルの励磁電流値を算出する演算工程と、 を含み、 前記画像データ取得工程において、 前記第1画像データは、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が第2電流値である条件で取得され、 前記第2画像データは、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値から第2変化電流値だけ変化させた電流値である条件で取得され、 前記第3画像データは、前記第1アライメントコイルの励磁電流値が前記第1電流値から第1変化電流値だけ変化させた電流値であり、前記第2アライメントコイルの励磁電流値が前記第2電流値である条件で取得される、荷電粒子ビームの軸合わせ方法。
IPC (7件)：
H01J 37/04 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/10 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/22
FI (7件)：
H01J37/04 B ,  H01J37/28 B ,  H01J37/09 A ,  H01J37/10 ,  H01J37/147 B ,  H01J37/18 ,  H01J37/22 502Z
Fターム (3件)：
5C030AA06 ,  5C030AB02 ,  5C033UU05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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