特許
J-GLOBAL ID：201303039200400188
振動抑制装置および振動抑制方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-057875
公開番号（公開出願番号）：特開2013-190070
出願日： 2012年03月14日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：
【課題】振動抑制装置において、基台などの外部から伝わる振動を抑制する上で有利な技術を提供する。【解決手段】基台1と第1物体2との相対距離と第1基準距離との偏差が小さくなるように駆動部10の駆動量を指示する第1信号を生成する第1生成部21と、前記第1物体2と第2物体4との相対距離と第2基準距離との偏差が小さくなるように前記駆動部10の駆動量を指示する第2信号を生成する第2生成部22と、前記第1生成部21と前記第2生成部22と前記駆動部10とを制御する制御部23と、を備え、前記制御部23は、前記第1生成部21を動作させ、前記第1信号に基づいて前記駆動部10を制御し、前記基台1と前記第1物体2との相対距離と前記第1基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、前記第2生成部22を動作させ、前記第1信号と前記第2信号とに基づいて前記駆動部10を制御することを特徴とする振動抑制装置100を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基台の上に弾性支持された第1物体と、前記第1物体の上に弾性支持された第2物体と、前記基台と前記第1物体との間に配置され、前記第1物体を駆動する駆動部とを有し、前記第2物体の振動を抑制する振動抑制装置であって、
前記基台と前記第1物体との相対距離と第1基準距離との偏差が小さくなるように前記駆動部の駆動量を指示する第1信号を生成する第1生成部と、
前記第1物体と前記第2物体との相対距離と第2基準距離との偏差が小さくなるように前記駆動部の駆動量を指示する第2信号を生成する第2生成部と、
前記第1生成部と前記第2生成部と前記駆動部とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記第1生成部を動作させ、前記第1信号に基づいて前記駆動部を制御し、
前記基台と前記第1物体との相対距離と前記第1基準距離との偏差が許容範囲に収まった後、前記第2生成部を動作させ、前記第1信号と前記第2信号とに基づいて前記駆動部を制御することを特徴とする振動抑制装置。
IPC (3件)：
F16F 15/02
, F16F 15/04
, H01L 21/027
F16F15/02 A
, F16F15/02 M
, F16F15/04 A
, H01L21/30 503F
3J048AA01
, 3J048AB14
, 3J048AD03
, 3J048BC01
, 3J048CB19
, 3J048DA01
, 3J048EA13
, 5F146AA23
