特許
J-GLOBAL ID：201303039596925342
相互に異なる光線が鏡径を限定する多重ビーム石版印刷装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-548413
特許番号：特許第4708653号
出願日： 2000年12月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】粒子光学装置であって、
当該粒子光学装置は、(a)当該装置によって照射されるべき対象物のためのオブジェクト・キャリアー、及び(b)粒子光学鏡筒のアレイを有し、
各粒子光学鏡筒には、電気的に帯電された粒子からなる限られた粒子ビームを発生させるための少なくとも1つの粒子源、及び前記オブジェクト・キャリアーの付近で前記粒子ビームの焦点を生成する集束装置が供され、
前記粒子光学鏡筒には、該粒子光学鏡筒の粒子源と集束装置との間に位置するビームを制限する開口部をも供され、
前記粒子光学カラムのアレイが少なくとも第1粒子光学鏡筒グループと第2粒子光学鏡筒グループに分けられ、
前記第1粒子光学鏡筒グループの粒子光学鏡筒には第1の直径を有するビーム制限絞りが供され、
前記第2粒子光学鏡筒グループの粒子光学鏡筒には第2の直径を有するビーム制限絞りが供され、
前記第1の直径と第2の直径とは異なる、
ことを特徴とする粒子光学装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H01J 37/09 ( 200 6.01)
, H01J 37/21 ( 200 6.01)
, H01J 37/305 ( 200 6.01)
H01L 21/30 541 W
, H01J 37/09 A
, H01J 37/21 Z
, H01J 37/305 B
