特許
J-GLOBAL ID：201303039603068213
保護テープ貼着方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-113245
公開番号（公開出願番号）：特開2013-239671
出願日： 2012年05月17日
公開日（公表日）： 2013年11月28日
要約：
【課題】 ウエーハの外周部に対応した外周部のみに環状の粘着層を有する保護テープを位置決めしてウエーハに容易に貼着可能な保護テープ貼着方法を提供することである。【解決手段】 ウエーハの直径に対応した直径を有し、ウエーハの外周部に対応する外周部にのみ環状の粘着層が配設された保護テープをウエーハに貼着する保護テープ貼着方法であって、ウエーハの外周部に複数の第1マークを形成する第1マーク形成工程と、保護テープの粘着層に該第1マークに対応した複数の第2マークを形成する第2マーク形成工程と、ウエーハの該第1マークと保護テープの該第2マークとを合致させてウエーハに保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ウエーハの直径に対応した直径を有し、ウエーハの外周部に対応する外周部にのみ環状の粘着層が配設された保護テープをウエーハに貼着する保護テープ貼着方法であって、
ウエーハの外周部に複数の第1マークを形成する第1マーク形成工程と、
保護テープの粘着層に該第1マークに対応した複数の第2マークを形成する第2マーク形成工程と、
ウエーハの該第1マークと保護テープの該第2マークとを合致させてウエーハに保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、
を備えたことを特徴とする保護テープ貼着方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5F057AA12
, 5F057AA21
, 5F057BA21
, 5F057CA14
, 5F057DA11
, 5F057FA30
