バリア性フィルムおよびそれを使用した積層材

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-139577
公開番号（公開出願番号）：特開2001-315251
特許番号：特許第4774577号
出願日： 2000年05月12日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基材フィルムの一方の面に、電子ビ-ム加熱反応式の物理気相成長装置を使用し、その蒸着チャンバ-内の真空度を1.0×10-3mbar〜1.0×10-2mbarの範囲に調整し、そして、アルミニウムを蒸着源に用い、これに電子ビ-ムを照射して加熱して蒸気化すると共に酸素ガスを供給しながら、酸化アルミニウムの蒸着膜を設けることを特徴とするバリア性フィルム。

IPC (3件)：