四フッ化メタンの測定方法、及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村勝彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-047490
公開番号（公開出願番号）：特開2013-181930
出願日： 2012年03月05日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：

【課題】情報処理を簡素化することができる四フッ化メタンの測定技術を提供すること。【解決手段】中心波長9035±50nmの吸光度に基づいて六フッ化エタンの濃度を検出し、中心波長7850±50nmの吸光度に基づいて六フッ化エタン相当分を相殺補正する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

中心波長9035±50nmの吸光度に基づいて六フッ化エタンの濃度を検出し、中心波長7850±50nmの吸光度に基づいて六フッ化エタン相当分を相殺補正する四フッ化メタン測定方法。

IPC (1件)：

G01N 21/35

FI (1件)：

G01N21/35 Z

Fターム (10件)：

2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059CC13 , 2G059CC20 , 2G059DD13 , 2G059EE01 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059MM01 , 2G059NN01

引用特許：

審査官引用 (2件)

引用文献：

審査官引用 (1件)

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