面圧センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：綿貫隆夫 , 岡村隆志 , 堀米和春 , 平井善博 , 傳田正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-051440
公開番号（公開出願番号）：特開2013-185966
出願日： 2012年03月08日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：

【課題】面圧センサの検出精度を向上する。【解決手段】面に作用する外圧を検出する面圧センサ10であって、基板11と、基板11に設けられたセンサ部と、センサ部に設けられた検出素子と、センサ部を除いた基板11に設けられた補正素子とを備える。基板11が、主面11aと裏面とを有する。基板11の裏面には、凹部14が形成される。センサ部として、ひずみ受感部15が、凹部14が形成されたことによる基板11の肉薄部から構成される。検出素子および補正素子としてのひずみゲージが、基板11の主面11a上でパターニングされた金属膜から構成される。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

面に作用する外圧を検出する面圧センサであって、基板と、前記基板中の凹部をもって形成されるひずみ受感部と、前記ひずみ受感部に設けられた第1ひずみゲージと、前記ひずみ受感部を除いた前記基板に設けられた第2ひずみゲージとを備えることを特徴とする面圧センサ。

IPC (2件)：

G01L 1/22 , G01L 5/00

FI (2件)：

G01L1/22 F , G01L5/00 101Z

Fターム (8件)：

2F049AA16 , 2F049BA13 , 2F049CA01 , 2F049CA05 , 2F049DA04 , 2F051AA12 , 2F051AA13 , 2F051AB09

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭62-042025
特開昭59-231430
特開平4-346042

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審査官引用 (5件)

特開昭62-042025
特開昭59-231430
特開平4-346042

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