搬送システム及び搬送方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：塩入明 , 塩入みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-087560
公開番号（公開出願番号）：特開2013-141034
出願日： 2013年04月18日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：

【課題】処理装置の前面を塞ぐことなく、かつ搬送システムが平面視で占める床面積を小さくしながら、処理装置に物品を速やかに供給搬出する。【構成】天井走行車軌道と平行にその下方に、処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置されているローカル軌道が設けられ、ホイストを備えるローカル台車が走行する。ローカル軌道の下部に、処理装置のロードポートの上流側に配置されている第1のバッファと、下流側に配置されている第2のバッファとが、天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在に設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムであって、前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置され、かつ天井走行車軌道と平行に配置されているローカル軌道と、前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第1のバッファと、前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第2のバッファ、とを備え、前記第1のバッファと第2のバッファが各々上段と下段の2段の階段状の構造で、第1のバッファと第2のバッファは上段と下段に各々物品を1個ずつ載置でき、下段はロードポートに近い側に、上段はロードポートから遠い側に配置され、かつ下段は物品の載置の有無に係わらず、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も下段の上方を通過自在で、上段は、物品が載置されている際には、物品を支持していないローカル台車のみが上段の上方を走行自在で、上段に物品が載置されていない際には、物品を支持しているローカル台車も物品を支持していないローカル台車も上段の上方を走行自在な高さに、前記下段と上段とが配置されていることを特徴とする、搬送システム。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (37件)：

5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131AA32 , 5F131BA39 , 5F131BB02 , 5F131BB03 , 5F131BB18 , 5F131CA32 , 5F131CA39 , 5F131DA02 , 5F131DA05 , 5F131DA22 , 5F131DA37 , 5F131DA42 , 5F131DB12 , 5F131DC06 , 5F131DC26 , 5F131DD02 , 5F131DD17 , 5F131DD18 , 5F131DD19 , 5F131DD29 , 5F131DD43 , 5F131DD54 , 5F131DD65 , 5F131DD73 , 5F131DD74 , 5F131DD84 , 5F131GA14 , 5F131GB02 , 5F131GB13 , 5F131GB27 , 5F131KA16 , 5F131KA54 , 5F131KB12 , 5F131KB32 , 5F131KB58

引用特許：

出願人引用 (4件)

移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-183310 出願人：ムラテックオートメーション株式会社
移載装置及び移載システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-380702 出願人：アシストシンコー株式会社
基板の処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-137444 出願人：東京エレクトロン株式会社

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