特許
J-GLOBAL ID：201303042660909098
位置決め装置、露光装置、及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248977
公開番号（公開出願番号）：特開2003-058258
特許番号：特許第4745556号
出願日： 2001年08月20日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空雰囲気内で対象物の位置決めを行なう位置決め装置であって、
移動可能なステージに連結された第1の構造体と、
前記ステージとともに移動し、前記対象物を搭載する第2の構造体と、
前記第1の構造体に対して前記第2の構造体を非接触で支持する支持装置と、
前記第1の構造体に対して前記第2の構造体を非接触で相対的に移動させる駆動装置と、
前記第1の構造体に設けられ、前記第2の構造体との間で輻射を利用して熱交換を行う輻射板と、
該輻射板の温度を調整する温度調整手段とを備え、
該温度調整手段は、前記第2の構造体または前記対象物の温度を制御するように、前記輻射板の温度を調整することを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
G05D 23/27 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G05D 23/27
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 503 B
, H01L 21/30 502 H
, H01L 21/30 503 F
