特許
J-GLOBAL ID：201303042871281311

薄膜形成方法、電機-機械変換素子、液体吐出ヘッド、およびインクジェット記録装置

発明者：
田代 亮

田代 亮 について

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町田 治

町田 治 について

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八木 雅広

八木 雅広 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-017932
公開番号（公開出願番号）：特開2013-154314
出願日： 2012年01月31日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：
【課題】所望の断面形状の機能性膜を形成する薄膜形成方法、所望の断面形状の機能性膜を含む電機-機械変換素子、この電機-機械変換素子を含む液体吐出ヘッド、およびこの液体吐出ヘッドを含むインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】基板上に形成された電極層上に、前駆体層が結晶化されてなる機能性膜をゾルゲル法によって形成する薄膜形成方法であって、前記電極層上に撥水膜を形成する工程と、前記撥水膜の一部の領域において撥水膜の前駆体層に対する接触角が分布をもつように、前記一部の領域にレーザ光を照射する工程と、前記撥水膜の前記一部の領域に、前記前駆体層を形成する工程と、を有することを特徴とする薄膜形成方法が提供される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された電極層上に、前駆体層が結晶化されてなる機能性膜をゾルゲル法によって形成する薄膜形成方法であって、 前記電極層上に撥水膜を形成する工程と、 前記撥水膜の一部の領域において撥水膜の前駆体層に対する接触角が分布をもつように、前記一部の領域にレーザ光を照射する工程と、 前記撥水膜の前記一部の領域に、前記前駆体層を形成する工程と、 を有することを特徴とする薄膜形成方法。
IPC (4件)：
B05D 3/06 ,  B41J 2/16 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045
FI (3件)：
B05D3/06 Z ,  B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A
Fターム (27件)：
2C057AF93 ,  2C057AG47 ,  2C057AP23 ,  2C057AP57 ,  2C057AP60 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4D075AC06 ,  4D075AC92 ,  4D075AC93 ,  4D075BB44Z ,  4D075BB48Z ,  4D075CA17 ,  4D075CB40 ,  4D075DA03 ,  4D075DA06 ,  4D075DA10 ,  4D075DB01 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DC21 ,  4D075EA12 ,  4D075EA60 ,  4D075EB01 ,  4D075EB11 ,  4D075EB31 ,  4D075EC01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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