特許
J-GLOBAL ID:201303043078106122
ダイオード
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-284375
公開番号(公開出願番号):特開2013-135078
出願日: 2011年12月26日
公開日(公表日): 2013年07月08日
要約:
【課題】 ディープ領域を有するとともにリカバリ耐量が高いダイオードを提供する。【解決手段】 半導体基板を有するダイオードであって、半導体基板は、半導体基板の上面に露出する範囲に形成されたp型のアノード領域と、前記上面に露出する範囲に形成されており、アノード領域と繋がっており、アノード領域よりも深い位置まで広がるp型のディープ領域と、半導体基板の端部とディープ領域との間の外周領域と、アノード領域及びディープ領域の下側、及び、外周領域内に広がるn型のカソード領域を有する。前記上面に露出する範囲において、アノード領域に近い側のディープ領域の平均p型不純物濃度が、外周領域に近い側のディープ領域の平均p型不純物濃度よりも低い。【選択図】図1
請求項(抜粋):
半導体基板を有するダイオードであって、
半導体基板は、
半導体基板の上面に露出する範囲に形成されたp型のアノード領域と、
前記上面に露出する範囲に形成されており、アノード領域と繋がっており、アノード領域よりも深い位置まで広がるp型のディープ領域と、
アノード領域及びディープ領域の下側、及び、半導体基板の端部とディープ領域との間の外周領域内に広がるn型のカソード領域、
を有しており、
前記上面に露出する範囲において、アノード領域に近い側のディープ領域の平均p型不純物濃度が、外周領域に近い側のディープ領域の平均p型不純物濃度よりも低い、
ダイオード。
IPC (3件):
H01L 29/861
, H01L 29/868
, H01L 21/329
FI (2件):
H01L29/91 D
, H01L29/91 B
引用特許:
審査官引用 (2件)
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-201116
出願人:トヨタ自動車株式会社
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ダイオード及び電力変換装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-283790
出願人:株式会社日立製作所
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