特許

J-GLOBAL ID：201303043302158036

電子デバイスをカプセル化する構造体およびこのような構造体を作る方法

発明者： ジャン-ルイ・ポルナン ,  ジョフロワ・デュモン
出願人/特許権者： コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ
代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-224854
公開番号（公開出願番号）：特開2013-102144
出願日： 2012年10月10日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：

【課題】電子デバイスをカプセル化する構造体およびこのような構造体を作る方法を提供する。【解決手段】少なくとも1つの電子デバイスをカプセル化するための構造体であって、支持体および前記支持体上に提供された少なくとも1つのキャップで囲まれた少なくとも1つの第1キャビティを含み、前記電子デバイスはカプセル化され、少なくとも1つの開口部は、前記キャップを通過し、前記第1キャビティ内部と前記支持体上に配置され前記第1キャビティに隣接する少なくとも1つの第2キャビティに提供されたゲッター材料の少なくとも一部分とを連通し、ゲッター材料の前記部分の少なくとも一部分は、前記支持体上および/または第1キャビティの少なくとも1つの外側壁に接して提供され、前記第1キャビティおよび前記第2キャビティが密封して密封体積をともに形成する、構造体を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの電子デバイス(102、202、302a-302c)をカプセル化するための構造体(100、200、300)であって、支持体(104)および前記支持体(104)上に提供された少なくとも1つのキャップ(108、208、308a-308c)で囲まれた少なくとも1つの第1キャビティ(106、206、306a-306c)を含み、前記電子デバイス(102、202、302a-302c)はカプセル化され、少なくとも1つの開口部(110、210、310)は、前記キャップ(108、208、308a-308c)を通過し、前記第1キャビティ(106、206、306a-306c)内部と、前記支持体(104)上に配置され前記第1キャビティ(106、206、306a-306c)に隣接する少なくとも1つの第2キャビティ(115、215、315)に提供されたゲッター材料の少なくとも一部分(112、218a-218d、312)とを連通し、ゲッター材料の前記部分(112、218a-218d、312)の少なくとも一部分が、前記支持体(104)上および/または前記第1キャビティ(106、206、306a-306c)の少なくとも1つの外側壁に接して提供され、前記第1キャビティ(106、206、306a-306c)および前記第2キャビティ(115、215、315)が密封してシールされた体積をともに形成する、カプセル化構造体(100、200、300)。

IPC (3件)：

H01L 23/26 ,  B81B 7/02 ,  B81C 1/00

FI (3件)：

H01L23/26 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Fターム (4件)：

3C081BA30 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081EA04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 減圧容器の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-266836   出願人：株式会社村田製作所
• 少なくとも1つのゲッターを備えた密閉超小型部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-183638   出願人：コミツサリアタレネルジーアトミーク
• 赤外線検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-058543   出願人：三菱電機株式会社