特許
J-GLOBAL ID：201303044352251980
蒸着マスク
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人 インテクト国際特許事務所
, 石川 泰男
, 石橋 良規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-004487
公開番号（公開出願番号）：特開2013-142196
出願日： 2012年01月12日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：
【課題】大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができ、さらにフレームに精度よく位置合わせすることができる蒸着マスクを提供すること。【解決手段】所定の開口部が設けられた第1の樹脂マスクと、スリットが設けられた金属マスクと、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数配置された第2の樹脂マスクと、がこの順で積層されてなる蒸着マスクとする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定の開口部が設けられた第1の樹脂マスクと、
スリットが設けられた金属マスクと、
蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数配置された第2の樹脂マスクと、
がこの順で積層されてなる蒸着マスク。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/04 A
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107CC35
, 3K107CC42
, 3K107CC45
, 3K107FF15
, 3K107GG33
, 4K029HA02
, 4K029HA03
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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