特許
J-GLOBAL ID：201303044380262407
ワイヤボンディング装置の調節方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
綿貫 隆夫
, 堀米 和春
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-169127
公開番号（公開出願番号）：特開2012-209601
特許番号：特許第5288031号
出願日： 2012年07月31日
公開日（公表日）： 2012年10月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】超音波振動を伝達するトランスデューサと、トランスデューサに交換可能に取り付けられるキャピラリとを備えるワイヤボンディング装置の調節方法であって、
前記トランスデューサに取り付ける前記キャピラリの突出長さを変えた際における、前記トランスデューサの先端の上端と下端とにおける縦振動方向の変位量を、測定器を用いて測定する工程と、
前記測定による測定結果に基づき、前記キャピラリを、前記上端と下端とにおける変位量の差が最小となる突出長さに設定して前記トランスデューサに取り付ける工程とを備えることを特徴とするワイヤボンディング装置の調節方法。
IPC (2件)：
H01L 21/607 ( 200 6.01)
, H01L 21/60 ( 200 6.01)
H01L 21/607 C
, H01L 21/60 301 G
