特許
J-GLOBAL ID：201303044641159986
光誘起キャリヤライフタイム測定装置及び光誘起キャリヤライフタイム測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大渕 美千栄
, 布施 行夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-253129
公開番号（公開出願番号）：特開2013-145868
出願日： 2012年11月19日
公開日（公表日）： 2013年07月25日
要約：
【課題】 半導体基体のバルクキャリヤライフタイム及び表面再結合速度を精度良く測定することが可能な光誘起キャリヤライフタイム測定装置及び光誘起キャリヤライフタイム測定方法を提供すること。【解決手段】 半導体基体Sに対して光誘起キャリヤを発生させるための波長の異なる光を照射する光源20、22と、半導体基体Sに照射するマイクロ波を発生するマイクロ波発生部10と、半導体基体を透過したマイクロ波の強度を検出する検出部30と、前記少なくとも2種類の光を照射したときに検出されたマイクロ波強度に基づき光の波長毎の実効キャリヤライフタイムを算出し、算出した波長毎の実効キャリヤライフタイムに基づき半導体基体Sのバルクキャリヤライフタイムと表面再結合速度とを算出する演算部50とを含む。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基体に発生した光誘起キャリヤの実効キャリヤライフタイムを測定する光誘起キャリヤライフタイム測定装置において、
前記半導体基体に対して、光誘起キャリヤを発生させるための波長の異なる少なくとも2種類の光を照射する光照射部と、
前記半導体基体に照射するマイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、
前記半導体基体を透過したマイクロ波の強度を検出する検出部と、
前記検出部で検出されたマイクロ波強度に基づき実効キャリヤライフタイムを算出する演算部とを含み、
前記演算部が、
前記少なくとも2種類の光を照射したときに検出されたマイクロ波強度に基づいて、前記少なくとも2種類の光の波長毎の実効キャリヤライフタイムを算出し、算出した前記波長毎の実効キャリヤライフタイムに基づき前記半導体基体のバルクキャリヤライフタイムと表面再結合速度とを算出する、光誘起キャリヤライフタイム測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
4M106AA01
, 4M106BA05
, 4M106BA09
, 4M106CB11
, 4M106CB13
, 4M106DJ20
