特許
J-GLOBAL ID：201303044959430581
減圧装置および減圧方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062823
公開番号（公開出願番号）：特開2013-197312
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
要約：
【課題】パーティクルが被処理物に付着することを抑制することができる減圧装置および減圧方法を提供することである。【解決手段】実施形態に係る減圧装置は、大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な容器と、前記容器の内部にある気体を排気する排気部と、前記容器の内部に設けられ、主面が平坦面である支持板と、前記支持板の主面に設けられ、被処理物を支持する支持体と、前記支持板と、前記容器の底側の内壁と、の間に隙間を形成するための部材と、を備えている。そして、前記支持板の主面の大きさは、前記被処理物の大きさよりも大きく、前記支持体は、柱状を呈し、一方の端部に前記被処理物を支持する斜面が設けられ、前記支持体に支持された前記被処理物と前記支持板との間の寸法Hと、前記被処理物の厚み寸法Tと、が以下の式を満たす。 【数8】【選択図】図1
請求項（抜粋）：
大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な容器と、
前記容器の内部にある気体を排気する排気部と、
前記容器の内部に設けられ、主面が平坦面である支持板と、
前記支持板の主面に設けられ、被処理物を支持する支持体と、
前記支持板と、前記容器の底側の内壁と、の間に隙間を形成するための部材と、
を備え、
前記支持板の主面の大きさは、前記被処理物の大きさよりも大きく、
前記支持体は、柱状を呈し、一方の端部に前記被処理物を支持する斜面が設けられ、
前記支持体に支持された前記被処理物と前記支持板との間の寸法Hと、前記被処理物の厚み寸法Tと、が以下の式を満たすことを特徴とする減圧装置。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, H01L 21/205
, H01L 21/31
, H01L 21/683
H01L21/02 Z
, H01L21/205
, H01L21/31 B
, H01L21/31 C
, H01L21/68 N
5F045AA03
, 5F045AA06
, 5F045AA08
, 5F045BB15
, 5F045EB08
, 5F131BA02
, 5F131BA03
, 5F131BA04
, 5F131CA12
, 5F131DA02
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131EA03
, 5F131EB32
, 5F131FA14
, 5F131JA12
, 5F131JA34
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (9件)
全件表示
前のページに戻る
