特許
J-GLOBAL ID：201303045085716893

露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法

発明者：
柴崎 祐一

柴崎 祐一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-136222
公開番号（公開出願番号）：特開2013-239721
出願日： 2013年06月28日
公開日（公表日）： 2013年11月28日
要約：
【課題】移動体を精度良く駆動する。【解決手段】 露光装置100は、投影光学系PLの下方に配置され、表面が、XY平面と実質的に平行に配置されるベース盤12と、ウエハWが搭載され、計測面(格子RG)が下面側に設けられる微動ステージWFSと、微動ステージWFSを支持する粗動ステージWCSと、を有し、ベース盤12上に配置されるウエハステージWSTと、ウエハステージを駆動する駆動システムと、ウエハステージが投影光学系と対向して位置付けられた時、微動ステージWFSの下方に粗動ステージWCSによって形成された空間内に配置されるアーム71に設けられたヘッド部を介して、前記計測面に対して下方から計測ビームを照射して、ウエハステージの位置情報を計測する計測システム70と、計測された位置情報に基づいて、ウエハステージの駆動を制御するコントローラと、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、 前記投影光学系の下方に配置され、表面が、前記投影光学系の光軸と直交する所定面と実質的に平行に配置されるベース部材と、 前記基板の載置領域が上面側に設けられ、格子が形成される計測面が下面側に設けられる保持部材と、前記計測面と前記ベース部材の表面との間に空間が形成されるように前記保持部材を支持する本体部と、を有し、前記ベース部材上に配置される基板ステージと、 前記基板ステージを駆動する駆動システムと、 前記投影光学系の下方で前記計測面よりも低く配置されるヘッド部を有し、前記基板ステージが前記投影光学系と対向して位置付けられることによって前記空間内に配置される前記ヘッド部を介して、前記計測面に対して下方から計測ビームを照射して、前記基板ステージの位置情報を計測する計測システムと、 前記計測システムで計測される位置情報に基づいて、前記駆動システムによる前記基板ステージの駆動を制御するコントローラと、を備える露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
H01L21/30 516B ,  H01L21/30 515G ,  G01B11/00 G ,  H01L21/68 F
Fターム (58件)：
2F065AA02 ,  2F065BB02 ,  2F065CC20 ,  2F065DD03 ,  2F065FF15 ,  2F065FF48 ,  2F065FF49 ,  2F065FF55 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ22 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL22 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065QQ42 ,  5F131AA02 ,  5F131BA13 ,  5F131BA14 ,  5F131CA18 ,  5F131CA69 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB86 ,  5F131DB87 ,  5F131DB88 ,  5F131DC18 ,  5F131EA02 ,  5F131EA06 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131EA27 ,  5F131EB01 ,  5F131EB11 ,  5F131FA17 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131KA14 ,  5F131KA16 ,  5F131KA44 ,  5F131KA47 ,  5F131KA63 ,  5F131KA72 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F131KB22 ,  5F146BA04 ,  5F146BA05 ,  5F146CC01 ,  5F146CC04 ,  5F146CC16 ,  5F146DB04 ,  5F146DB09
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (7件)
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