特許
J-GLOBAL ID：200903019541951642
リソグラフィ機器及びそれを較正する方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 森 徹
, 吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-215936
公開番号（公開出願番号）：特開2006-054452
出願日： 2005年07月26日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
【課題】基板テーブル及びこの基板テーブルの移動を制御する移動制御システムを含むリソグラフィ機器を提供すること。【解決手段】移動制御システムは、基板テーブルWTの位置を検出するように構築された少なくとも3つの位置検出器P1〜P5を含む。基板テーブルWTの位置及び向きを測定するために、各位置検出器P1〜P5は、1次元又は多次元のタイプの光学式エンコーダを備える。これらの光学式エンコーダは、合わせて少なくとも6つの位置の値を提供するように配置され、3次元の各次元ごとに少なくとも1つの位置の値が提供される。【選択図】図3a
請求項（抜粋）：
リソグラフィ機器であって、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
放射ビームを調整するように構成された照明器と、
前記放射ビームに所望のパターンを付与するパターン化装置を支持するように構成された支持構造と、
前記パターン化されたビームを前記基板の目標部分に投影する投影システムと、
前記基板テーブルの移動を制御するように構成された移動制御システムとを備え、
前記移動制御システムは、前記基板テーブルの位置を検出する複数の位置検出器を備え、前記位置検出器の少なくとも3つはそれぞれ、少なくとも6つの位置の値を提供する1次元又は多次元の光学式エンコーダを含み、前記光学式エンコーダは、3次元座標系内の異なる場所で前記基板テーブルに結合され、
前記3次元座標系の各次元ごとに少なくとも1つの位置の値が提供され、
前記移動制御システムは、前記6つの位置の値の少なくとも3つからなるサブセットから、前記3次元座標系内での前記基板テーブルの前記位置を計算し、前記6つの位置の値の少なくとも3つからなる別のサブセットから、前記3次元座標系に関する前記基板テーブルの向きを計算するように構成される、リソグラフィ機器。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G01B 11/00
, G01B 11/26
H01L21/30 503A
, G03F7/20 521
, G01B11/00 A
, G01B11/26 Z
2F065AA03
, 2F065AA07
, 2F065AA16
, 2F065AA37
, 2F065BB01
, 2F065BB28
, 2F065CC17
, 2F065FF15
, 2F065FF48
, 2F065JJ05
, 2F065LL42
, 2F065MM02
, 2F065PP12
, 2F065QQ03
, 2F065TT08
, 2F065UU07
, 5F046BA03
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC03
, 5F046CC16
, 5F046CC17
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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