特許
J-GLOBAL ID：201303045380592713

エッチング液組成物

発明者：
ヤン スンジェ

ヤン スンジェ について

, 
イ スクジュン

イ スクジュン について

, 
クォン オビョン

クォン オビョン について


出願人/特許権者：
ドンウー ファイン-ケム カンパニー リミテッド

ドンウー ファイン-ケム カンパニー リミテッド について


代理人 (1件)： 特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-536673
公開番号（公開出願番号）：特表2013-509703
出願日： 2010年10月27日
公開日（公表日）： 2013年03月14日
要約：
In、Al及びMoを含む三重膜用のエッチング液組成物は、組成物の総重量に対し、45〜70重量%のリン酸、2〜10重量%の硝酸、5〜25重量%の酢酸、0.01〜3重量%の含フッ素化合物、0.1〜5重量%のリン酸塩、及び残量の水を含む。
請求項（抜粋）：
組成物の総重量に対し、45〜70重量%のリン酸、2〜10重量%の硝酸、5〜25重量%の酢酸、0.01〜3重量%の含フッ素化合物、0.1〜5重量%のリン酸塩、及び残量の水を含むことを特徴とする、ITO、Al及びMoを含む三重膜用のエッチング液組成物。
IPC (3件)：
H01L 21/306 ,  G09F 9/30 ,  C23F 1/16
FI (4件)：
H01L21/306 F ,  G09F9/30 330Z ,  G09F9/30 338 ,  C23F1/16
Fターム (34件)：
2H092JA24 ,  2H092JA44 ,  2H092KA18 ,  2H092KB14 ,  2H092MA04 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  4K057WA10 ,  4K057WB01 ,  4K057WB05 ,  4K057WB08 ,  4K057WB15 ,  4K057WE02 ,  4K057WE04 ,  4K057WF01 ,  4K057WF10 ,  4K057WN01 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094DA13 ,  5C094EA10 ,  5C094FB12 ,  5C094GB10 ,  5F043AA21 ,  5F043AA22 ,  5F043AA26 ,  5F043AA27 ,  5F043BB14 ,  5F043BB15 ,  5F043BB18 ,  5F043EE07 ,  5F043GG04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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