特許
J-GLOBAL ID：201303045891054442
物品保管設備
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
北村 修一郎
, 三宅 一郎
, 木村 昌人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-001557
公開番号（公開出願番号）：特開2013-142009
出願日： 2012年01月06日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：
【課題】不活性気体の供給源から複数の搬送容器に不活性気体を供給する場合においても、夫々の搬送容器の内部の環境を良好に維持することができる物品保管設備を提供する。【解決手段】制御手段が、同時供給算出手段によって算出された同時供給最大数を超える数量の不活性気体供給部が同時に第1供給状態となるときには、同時開始対応処理#13として、同時に第1供給状態となる不活性気体供給部のうち、同時供給最大数以下の不活性気体供給部を第1供給状態とし、残りの不活性気体供給部について設定遅延時間だけ第1供給状態の開始を遅延させる開始遅延処理を実行する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置とが設けられ、
前記複数の収納部の夫々について、不活性気体を供給する吐出口と、前記吐出口から吐出する前記不活性気体の流量を調節自在な流量調節装置とを備えて前記収納部に収納された前記搬送容器の内部に前記不活性気体を供給自在な不活性気体供給部が設けられ、
前記搬送装置と前記流量調節装置との作動を制御する制御手段が設けられた物品保管設備であって、
前記複数の収納部のうち一群の収納部についての前記不活性気体供給部を対象として前記不活性気体を供給する供給源が設けられ、
前記供給源から前記一群の不活性気体供給部に対して供給可能な最大許容流量が設定され、
前記制御手段が、前記収納部に収納された前記搬送容器に対して前記不活性気体を第1目標流量で供給すべく前記流量調節装置を作動させる第1供給状態と、前記第1目標流量より小さな第2目標流量で供給すべく前記流量調節装置を作動させる第2供給状態とを前記収納部について各別に切換える形態で前記流量調節装置の作動を制御するように構成され、かつ、
前記最大許容流量と前記第1目標流量と前記第2目標流量とに基づいて、同時に前記第1供給状態とすることができる前記不活性気体供給部の最大数である同時供給最大数を算出する同時供給算出手段が設けられ、
前記制御手段が、前記同時供給算出手段によって算出された同時供給最大数を超える数量の前記不活性気体供給部が同時に前記第1供給状態となるときには、同時開始対応処理として、同時に前記第1供給状態となる前記不活性気体供給部のうち、前記同時供給最大数以下の前記不活性気体供給部を前記第1供給状態とし、残りの前記不活性気体供給部について設定遅延時間だけ前記第1供給状態の開始を遅延させる開始遅延処理を実行する物品保管設備。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G1/00 521D
, H01L21/68 T
3F022AA08
, 3F022BB09
, 3F022CC02
, 3F022EE05
, 3F022FF01
, 3F022JJ08
, 3F022JJ09
, 3F022MM52
, 5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031DA17
, 5F031FA03
, 5F031FA13
, 5F031GA02
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031NA04
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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