コンテナの搬送システム及び測定用コンテナ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶良之 , 須原誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-345409
公開番号（公開出願番号）：特開2008-159734
出願日： 2006年12月22日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：

【課題】コストを低減し、省スペースを実現する。【解決手段】ストック1は、収納用フープ20と複数のパージユニット50と測定用フープ30とスタッカクレーン60とを備えている。収納用フープ20は、内部に半導体ウェハを収納している。測定用フープ30は、内部に流量計を備えている。パージユニット50は、収納用フープ20が載置される複数のパージ台からなるパージ棚51を備えており、パージ台上に載置された収納用フープ20内に窒素ガスを供給する。スタッカクレーン60は、パージ台へ収納用コンテナ20を搬送するとともに、複数のパージ台同士の間で測定用フープ30を搬送する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を収納する内包空間を画定する筐体と、前記内包空間へと気体が流入する前記筐体に形成された開口とを有する収納用コンテナと、前記収納用コンテナが載置されるパージ台と、前記パージ台に前記収納用コンテナが載置された場合に前記開口と連通して前記開口から前記内包空間へパージ用の気体を流入させる気体流入口とを有する複数のパージユニットと、前記パージ台に載置された場合に前記気体流入口に連通する気体流路と、前記気体流路を通じて前記気体流入口から流入した気体の流量を測定する流量測定ユニットとを有する測定用コンテナと、前記パージ台へと前記収納用コンテナを搬送すると共に、複数の前記パージ台同士の間で前記測定用コンテナを搬送する搬送ユニットとを備えていることを特徴とするコンテナの搬送システム。

IPC (2件)：

H01L 21/677 , B65G 1/00

FI (3件)：

H01L21/68 A , B65G1/00 521D , B65G1/00 537Z

Fターム (24件)：

3F022AA08 , 3F022BB09 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022FF01 , 3F022JJ09 , 3F022KK01 , 3F022MM08 , 3F022QQ17 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA01 , 5F031EA14 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031JA01 , 5F031JA45 , 5F031MA02 , 5F031MA03 , 5F031NA03 , 5F031NA04 , 5F031NA15 , 5F031PA02 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (6件)

可搬式密閉コンテナのガス供給システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-028654 出願人：神鋼電機株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-148547 出願人：国際電気株式会社
保管庫
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-403636 出願人：アシストシンコー株式会社

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