特許
J-GLOBAL ID:201303046674286994

X線分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  石田 悟 ,  柴田 昌聰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-034030
公開番号(公開出願番号):特開2013-170880
出願日: 2012年02月20日
公開日(公表日): 2013年09月02日
要約:
【課題】高効率のX線分析を行うことができるX線分析装置を提供する。【解決手段】X線分析装置1は、X線源10、スリット20、集光部30、保持部40、検出部50、走査部60、シンチレータ70、撮像部80および制御部90を備え、保持部40により保持された試料Sの含有成分を分析する。集光部30は、X線源10から出力されスリット20の開口を通過してX線入射端に入射されたX線をX線出射端から出射して、x方向に長くy方向に短い線状に集光する。試料Sが線状のものである場合、集光部30のX線出射端から出射されるX線が線状に集光される際の長手方向(x方向)が試料Sの長手方向と一致するように、保持部40は試料Sを保持する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
X線を出力するX線源と、 空間を挟んで互いに対向する第1平面および第2平面を有し、前記第1平面と前記第2平面との間隔がX線入射端と比べてX線出射端において等しいか又は狭く、前記X線源から出力されて前記X線入射端に入射されたX線を前記第1平面と前記第2平面との間を経て前記X線出射端から出射して、そのX線を線状に集光する集光部と、 前記集光部の前記X線出射端から出射されて線状に集光されたX線が試料に照射された際に該試料で発生するX線を検出する検出部と、 前記検出部による検出結果に基づいて前記試料の含有成分を分析する分析部と、 を備えることを特徴とするX線分析装置。
IPC (1件):
G01N 23/223
FI (1件):
G01N23/223
Fターム (13件):
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA05 ,  2G001JA04 ,  2G001KA01 ,  2G001LA01 ,  2G001NA09 ,  2G001PA11 ,  2G001SA01
引用特許:
審査官引用 (5件)
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