水性アルカリ性洗浄組成物およびそれらを使用する方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：アインゼル・フェリックス=ラインハルト , 久野琢也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-520254
公開番号（公開出願番号）：特表2013-533360
出願日： 2011年07月12日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
要約：

有機溶剤と、金属イオン不含ケイ酸塩とを含有しない、水性アルカリ性洗浄組成物であって、前記組成物は、(A)少なくとも1つの第一アミノ基および少なくとも1つのメルカプト基を有するチオアミノ酸、(B)第四級アンモニウム水酸化物、(C)少なくとも2つの第一アミノ基を有する脂肪族および脂環式アミン、ならびに少なくとも1つの水酸基を有する脂肪族および脂環式アミンからなる群から選択されるキレート剤および/または腐食防止剤、(D)アセチレンアルコール、アルキルオキシ化されたアセチレンアルコールおよびアルキルオキシ化されたソルビタンモノカルボン酸モノエステルの群から選択される非イオン性界面活性剤を有する;電気デバイスおよび光学デバイスの製造に有益な基板を製造するためのアルカリ性洗浄組成物の使用;ならびに前記水性アルカリ性洗浄組成物を用いて電気デバイスおよび光学デバイスの製造に有益な基板を製造する方法。

請求項（抜粋）：

有機溶剤と、金属イオン不含ケイ酸塩とを含有しない、水性アルカリ性洗浄組成物であって、前記組成物は、 (A) 少なくとも1つの第一アミノ基および少なくとも1つのメルカプト基を有する少なくとも1つのチオアミノ酸、 (B) 少なくとも1つの第四級アンモニウム水酸化物、 (C) 少なくとも2つの第一アミノ基を有する脂肪族および脂環式アミン、ならびに少なくとも1つの水酸基を有する脂肪族および脂環式アミンからなる群から選択される少なくとも1つのキレート剤および/または腐食防止剤、 (D) アセチレンアルコール、アルキルオキシ化されたアセチレンアルコールおよびアルキルオキシ化されたソルビタンモノカルボン酸モノエステルの群から選択される少なくとも1つの非イオン性界面活性剤を有する、水性アルカリ性洗浄組成物。

IPC (7件)：

C11D 3/34 , C11D 3/30 , C11D 3/26 , C11D 3/33 , C11D 1/72 , C11D 17/08 , H01L 21/304

FI (7件)：

C11D3/34 , C11D3/30 , C11D3/26 , C11D3/33 , C11D1/72 , C11D17/08 , H01L21/304 647A

Fターム (22件)：

4H003AC03 , 4H003AC07 , 4H003DA15 , 4H003EB04 , 4H003EB08 , 4H003EB12 , 4H003EB13 , 4H003EB19 , 4H003EB21 , 4H003FA07 , 4H003FA15 , 4H003FA28 , 5F157AA70 , 5F157AA96 , 5F157BD02 , 5F157BD03 , 5F157BD09 , 5F157BF12 , 5F157BF22 , 5F157BF39 , 5F157BF59 , 5F157DB03

引用特許：

審査官引用 (1件)

後CMP洗浄用改良アルカリ薬品
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-196745 出願人：レール・リキード-ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード

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