特許
J-GLOBAL ID：201303047159333439

ロードポートモジュール

発明者：
ホール ダニエル エー.

ホール ダニエル エー. について

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シンドルデッカー グレン エル.

シンドルデッカー グレン エル. について

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コーディー マシュー ダブリュー.

コーディー マシュー ダブリュー. について

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トロリオ マルセロ

トロリオ マルセロ について

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スピナゾラ マイケル

スピナゾラ マイケル について


出願人/特許権者：
ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

ブルックス オートメーション インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 藤村 元彦 ,  永岡 重幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-050751
公開番号（公開出願番号）：特開2013-153188
出願日： 2013年03月13日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
要約：
【課題】多くの電子部品及び半導体部品に対応可能で、製造業者が全てのレベルにおいて効率向上が可能な基板プロセス装置を提供する。【解決手段】基板ロードデバイス10は、フレーム16、カセット支持部36、34、及びユーザーインターフェイスを有している。フレーム16は基板プロセス装置14に接続されている。フレーム16は搬送開口部30Dを有しており、かかる搬送開口部30Dを経て、基板は基板ロードデバイス10と基板プロセス装置14との間を搬送される。カセット支持部36、34は、フレーム16に接続され、少なくとも1つの基板保持カセットを保持する。前記ユーザーインターフェイスは、情報を入力するために形成され、フレーム16に一体化してマウントされている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板ローディングデバイスであって、 前記デバイスを基板プロセス装置に接続し、基板が前記デバイスと処理装置との間を搬送される際に通過する搬送開口部を有するフレームと、 前記フレームに接続され、少なくとも1つの基板搬送コンテナを保持する基板搬送コンテナ支持部と、を含み、 前記支持部は、 前記支持部の少なくとも一部を被覆し、弾性可撓性部を有するカバー部と、 前記カバー部に接続され、前記支持部における前記少なくとも1つの搬送コンテナの存在を検出する少なくとも1つの検出器と、 前記カバー部の前記弾性可撓性部に接続され、前記弾性可撓性部とのユニットとして動かされる部材と、を含み、 前記カバー部により被覆された位置に前記少なくとも1つの基板搬送コンテナが配置され、 前記部材は、前記検出器と協働し、前記検出器に前記支持部における前記搬送コンテナの存在を検出させることを特徴とする基板ローディングデバイス。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (58件)：
5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131BB03 ,  5F131BB04 ,  5F131CA24 ,  5F131CA32 ,  5F131CA42 ,  5F131DA02 ,  5F131DA09 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DB52 ,  5F131DB62 ,  5F131DB76 ,  5F131DB82 ,  5F131DB88 ,  5F131DD03 ,  5F131DD19 ,  5F131DD43 ,  5F131DD76 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131FA14 ,  5F131FA33 ,  5F131GA14 ,  5F131GA19 ,  5F131GA63 ,  5F131GA73 ,  5F131GA76 ,  5F131GA83 ,  5F131GA88 ,  5F131GA92 ,  5F131HA02 ,  5F131HA29 ,  5F131HA42 ,  5F131HA44 ,  5F131JA08 ,  5F131JA09 ,  5F131JA12 ,  5F131JA35 ,  5F131KA05 ,  5F131KA11 ,  5F131KA12 ,  5F131KA14 ,  5F131KA40 ,  5F131KA42 ,  5F131KA47 ,  5F131KA54 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F131KB33 ,  5F131KB49 ,  5F131KB53 ,  5F131KB54 ,  5F131KB58
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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