特許
J-GLOBAL ID:201303047383810676
温度特性計測装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
佐原 雅史
, 横田 一樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-029244
公開番号(公開出願番号):特開2013-127475
出願日: 2013年02月18日
公開日(公表日): 2013年06月27日
要約:
【課題】温度特性計測装置において、高精度の温度制御を実現する技術を提供する。【解決手段】温度特性計測装置は、電子部品の温度特性を計測する温度特性計測装置であって、電子部品Dが載置される電子部品搭載プレート10と、電子部品搭載プレート10上に電子部品Dと同様に載置されて温度に依存した信号を出力する温度計測用マスタ100と、温度計測用マスタ100の出力から温度計測用マスタ100の温度を計測するマスタ温度計測装置と、を備える。【選択図】図2
請求項(抜粋):
電子部品の温度特性を計測する温度特性計測装置であって、
電子部品が載置される電子部品載置エリアを有する電子部品搭載プレートと、
前記電子部品搭載プレート上に前記電子部品と同様に載置され温度に依存した信号を出力する温度計測用マスタと、
前記温度計測用マスタの出力から前記温度計測用マスタの温度を計測するマスタ温度計測装置と、
前記電子部品載置エリアを加熱または冷却する第1の温度制御素子と、
前記第1の温度制御素子とは異なる温度で当該電子部品載置エリアを加熱または冷却する第2の温度制御素子と、を備え、
前記電子部品搭載プレートの搬送路には、前記電子部品エリアが前記第1の温度制御素子によって加熱または冷却される第1位置と、前記電子部品エリアが前記第2の温度制御素子によって加熱または冷却される第2位置とが設定され、
前記マスタ温度計測装置は、前記第1位置の前記電子部品搭載プレートに載置された前記温度計測用マスタの温度を計測するとともに、前記第2位置の前記電子部品搭載プレートに載置された前記温度計測用マスタの温度を計測すること
を特徴とする、温度特性計測装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (5件):
2G036AA18
, 2G036AA19
, 2G036BA35
, 2G036BB22
, 2G036CA05
引用特許:
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