特許
J-GLOBAL ID：201303048490737422

検査修正装置、検査修正方法およびファイバレーザ

発明者：
中尾 敏之

中尾 敏之 について

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本郷 幹雄

本郷 幹雄 について

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渡辺 正浩

渡辺 正浩 について

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吉武 康裕

吉武 康裕 について

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笹澤 秀明

笹澤 秀明 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-287364
公開番号（公開出願番号）：特開2013-138055
出願日： 2011年12月28日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
要約：
【課題】 YDFを励起源に用いたパルス発振ファイバレーザにおいて、分散補償に回折格子対を用いると、一度レーザ光を外部空間に射出するため、安定性が低下する。一方、分散補償にCFBGを用いると、補償できる分散の大きさが一意に決まってしまい、調整できるレンジが非常に小さい。つまり、高い安定性と調整可能な分散補償量の拡大を両立させることは困難である。【解決手段】 共振器と、レーザ光の周波数を変調させる周波数変調部と、レーザ光のパルス幅を広げるパルスストレッチャと、レーザ光を増幅させるアンプと、レーザ光のパルス幅を圧縮するパルスコンプレッサと、を有し、前記パルスコンプレッサは、CFBGを備える第一の分散補償部と前記第一の分散補償部を制御する第一のパルス幅制御部とを備え、該レーザ光の伝播する経路が全て光ファイバで構成されていることを特徴とするファイバレーザである。 【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
ファイバレーザの励起源であるYDFを備える共振器と、 前記共振器から発振されたレーザ光の周波数を変調させる周波数変調部と、 前記周波数変調部により変調されたレーザ光のパルス幅を広げるパルスストレッチャと、 前記パルスストレッチャによりパルス幅を広げたレーザ光を増幅させるアンプと、 前記アンプにより増幅されたレーザ光のパルス幅を圧縮するパルスコンプレッサと、を有し、 前記パルスコンプレッサは、CFBGを備える第一の分散補償部と前記第一の分散補償部を制御する第一のパルス幅制御部とを備え、 該レーザ光の伝播する経路が全て光ファイバで構成されていることを特徴とするファイバレーザ。
IPC (6件)：
H01S 3/067 ,  H01S 3/10 ,  H01S 3/23 ,  G02F 1/01 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10
FI (6件)：
H01S3/06 B ,  H01S3/10 Z ,  H01S3/23 ,  G02F1/01 C ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10
Fターム (30件)：
2H079AA06 ,  2H079AA07 ,  2H079AA12 ,  2H079BA04 ,  2H079CA24 ,  2H079EA09 ,  2H079EB24 ,  2H079EB27 ,  2H079HA11 ,  2H079KA20 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG14 ,  3K107GG56 ,  3K107GG57 ,  5F172AE12 ,  5F172AF06 ,  5F172AM04 ,  5F172AM08 ,  5F172CC04 ,  5F172DD03 ,  5F172EE15 ,  5F172EE19 ,  5F172NN14 ,  5F172NN17 ,  5F172NQ14 ,  5F172NQ53 ,  5F172NR05 ,  5F172NS25
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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