特許
J-GLOBAL ID：201303049239898987
成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-056663
公開番号（公開出願番号）：特開2012-160461
特許番号：特許第5138105号
出願日： 2012年03月14日
公開日（公表日）： 2012年08月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ヘッド部と、
前記ヘッド部と連結したノズルと、
前記ノズルの先端に設けられた接触部と、
前記接触部の外側に設けられた塗布液吸い取り管と、を有し、
前記接触部が被処理物に接触することにより塗布液が吐出される機能を有することを特徴とする成膜装置。
IPC (3件)：
H05B 33/10 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, B05C 5/00 ( 200 6.01)
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
, B05C 5/00 101
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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