特許

J-GLOBAL ID：201303049553776438

誘導結合プラズマ源内に電極を取り付けるためのシステム

発明者： ショーン・ケロッグ ,  アンソニー・グラウペラ ,  エヌ・ウィリアム・パーカー ,  アンドリュー・ビー・ウェルズ ,  マーク・ダブリュー・ウトロート ,  ウォルター・スコチラス ,  グレゴリー・エイ・シュウィンド ,  ショウイン・ジャーン ,  ノエル・スミス
出願人/特許権者： エフ・イ-・アイ・カンパニー
代理人 (1件)： 雨貝 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-256984
公開番号（公開出願番号）：特開2013-137994
出願日： 2012年11月24日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
要約：

【課題】集束イオン・ビーム・システム内で使用する誘導結合プラズマ・イオン源に電極を取外し可能に取り付けるためのシステムを提供する。【解決手段】集束イオン・ビーム・システム用の誘導結合プラズマ荷電粒子源200は、源電極206が取外し可能に取り付けられたプラズマ反応室を含む。固定機構が、源電極をプラズマ反応室に接続し、熱伝導性の真空シールを形成することを可能にする。取外し可能な源電極を用いると、プラズマ源管の保守容易性の向上およびプラズマ源管の再使用が可能になる。【選択図】図2A

請求項（抜粋）：

誘導結合プラズマ源に電極を取外し可能に取り付けるためのシステムであって、 反応室を有する誘導結合プラズマ源と、 前記反応室に付着させた界面層と、 前記界面層に付着された装着リングと、 前記装着リングに取り付けられた源電極と を備え、前記界面層、前記装着リングおよび前記源電極の組合せが、前記反応室の取付け部分と前記源電極の間の熱伝導性シールを形成するシステム。

IPC (3件)：

H01J 37/317 ,  H05H 1/46 ,  H01J 37/08

FI (3件)：

H01J37/317 D ,  H05H1/46 L ,  H01J37/08

Fターム (6件)：

5C030DD01 ,  5C030DE01 ,  5C030DE10 ,  5C030DG09 ,  5C034DD01 ,  5C034DD09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 表面生成型イオン発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-346455   出願人：三菱電機株式会社

審査官引用 (1件)

• 表面生成型イオン発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-346455   出願人：三菱電機株式会社