特許
J-GLOBAL ID：201303049654203609

電気的な接続を生ぜしめる方法及び接触箇所

発明者：
インゴルフ ヴィルトナー

インゴルフ ヴィルトナー について


出願人/特許権者：
ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング

ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング について


代理人 (4件)： 矢野 敏雄 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-534368
特許番号：特許第4700191号
出願日： 1999年03月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の接触面(10)と第2の接触面(12)との間の電気的な接続を生ぜしめる方法であって、 第1のステップで、ワイヤボンディング装置(18)によって前記第2の接触面(12)の上方に接触ワイヤ(24)を配置し、 第2のステップで、前記接触ワイヤの自由端部(26)に熱的エネルギを負荷することによって該自由端部を球に溶融し、 第3のステップで、前記球を前記第2の接触面へ押し付けて前記球を塑性変形させ、塑性変形された球としてのバンプ(32)と前記第2の接触面との間を接続し、該バンプによって前記第2の接触面上に前記接触ワイヤ(24)と同じ材料から成る接触金属化部(42)を形成し、 第4のステップで、前記ワイヤボンディング装置によって該接触ワイヤを切断し、 第5のステップで、前記ワイヤボンディング装置によって前記第1の接触面(10)の上方に前記接触ワイヤを配置し、 第6のステップで、前記接触ワイヤの自由端部に熱的エネルギを負荷することによって該自由端部を球に溶融し、 第7のステップで、前記球を前記第1の接触面へ押し付けて塑性変形させ、塑性変形された前記球と前記第1の接触面との間を接続し、 第8のステップで、前記ワイヤボンディング装置を持ち上げて前記接触ワイヤを引き延ばすことによりループ(36)を形成しながら前記接触ワイヤを前記第2の接触面へ導き、 第9のステップで、前記ワイヤボンディング装置を前記第2の接触面の方向へ動かして前記接触ワイヤを前記バンプと結合させる、 第1の接触面と第2の接触面との間の電気的な接続を生ぜしめる方法において、 前記第3のステップにおいて、前記球を前記第2の接触面の空洞(46)内で該第2の接触面へ押し付けて前記球を塑性変形させ、前記球の塑性変形した形状を前記空洞の形状に適合させることにより、押し付けられた前記球と前記第2の接触面との間を接続する ことを特徴とする第1の接触面と第2の接触面との間の電気的な接続を生ぜしめる方法。
IPC (1件)：
H01L 21/60 ( 200 6.01)
FI (1件)：
H01L 21/60 301 A
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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