高純度ガスを放出するための収着型ガス貯蔵および放出システム

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：稲葉良幸 , 田中克郎 , 大賀眞司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-549358
特許番号：特許第4705240号
出願日： 1999年05月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】収着型ガス貯蔵および放出システムであって、収着ガスに吸着親和性を有する固相物理収着媒を含む貯蔵および放出容器と、前記貯蔵および放出容器内にあって前記収着ガスの不純物に対して化学収着性を有し、また前記貯蔵および放出容器内で該不純物を化学収着してガス相除去するように配置され、不純物に透過性であるが収着ガスに非透過性であるバリア部によって収着ガスと接触しないように保護される化学収着物質と、弁を内部に含み、前記貯蔵および放出容器とガス流で連結され、脱着された収着ガスを前記貯蔵および放出容器から選択的に放出する弁頭アセンブリと、を備える収着型ガス貯蔵および放出システム。

IPC (1件)：