特許

J-GLOBAL ID：201303050385701379

力発生装置

発明者： 黎 ▲しん▼
出願人/特許権者： 国立大学法人東京工業大学
代理人 (4件)： 森下 賢樹 ,  村田 雄祐 ,  三木 友由 ,  真家 大樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-041531
公開番号（公開出願番号）：特開2013-179137
出願日： 2012年02月28日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：

【課題】力発生装置が発生する圧力および/または力を測定する。【解決手段】非接触チャック100eは、カップ2、ファン8を備える。カップ2は、その底面に断面略円形の凹部4が設けられ、その上面に吸気口6が設けられる。ファン8は、カップ2の凹部4内に設けられており、モータ10の回転軸と取り付けられている。ファン8の回転によってカップ2内に吸気口6から空気が吸い込まれる。気体の密度をρ、カップ内の旋回流の角回転数をω、係数をCとするとき、演算部20eは、カップ2の凹部4に生ずる圧力の径r方向の分布Pi(r)が式(1)に従うとの前提のもと、圧力および/または力を計算する。 Pi(r)=1/2・ρ・r2・ω2+C ...(1)【選択図】図9

請求項（抜粋）：

カップ状部材であって、その一方の底面に設けられた断面略円形の凹部と、前記凹部の底部に連通された吸気口と、を有するカップ状部材と、 前記カップ状部材の凹部内に設けられたファンであって、その回転によって前記凹部内に前記吸気口から空気を吸い込み、前記凹部の内部に旋回流を発生せしめるファンと、 気体の密度をρ、カップ内の前記旋回流の角回転数をω、係数をCとするとき、前記カップ状部材の前記凹部に生ずる圧力の径r方向の分布Pi(r)の少なくとも一部が式(1)で表されるとの前提のもと、圧力および/または力を計算する演算部と、 を備えることを特徴とする力発生装置。 Pi(r)=1/2・ρ・r2・ω2+C ...(1)

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 C

Fターム (5件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA28 ,  5F031JA47 ,  5F031JA51