誘電体バリアを介した電気泳動法を用いた機能性材料の堆積法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-001223
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140919
出願日： 2012年01月06日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：

【課題】高い純度の機能性材料の堆積物を、任意の導電性や誘電性を有する基板上に、電気化学反応を伴わず、効率的安全に形成するための電解槽を提供する。【解決手段】少なくとも一つの電極4もしくは5を、誘電体3を介して溶液2に接するように配置した電解槽を構成し、溶液を汚染しない材質からなる基板6,7を溶液中の任意の位置に配置して、印加した電圧により電解槽に満たされた溶液中の機能性材料の帯電分散体を、基板上に堆積する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

分散した帯電粒子を含む溶液を介して向かい合う電極間に電圧を印可して溶液に電場を与えることにより、前記向かい合う電極間に配置した基板の溶液に接している面上に前記帯電粒子を堆積する電気泳動堆積法による製膜方法において、前記向かい合う電極のうち少なくとも一つが前記溶液に直接触れないように誘電体膜と直列的に配置されていることを特徴とする電気泳動堆積法

IPC (6件)：

H01L 21/368 , H01L 21/336 , H01L 29/786 , H01L 51/05 , H01L 51/30 , H01L 51/40

FI (5件)：

H01L21/368 L , H01L29/78 618A , H01L29/28 100A , H01L29/28 250G , H01L29/28 310J

Fターム (24件)：

5F053AA14 , 5F053AA21 , 5F053AA42 , 5F053AA43 , 5F053BB01 , 5F053DD19 , 5F053HH01 , 5F053HH04 , 5F053HH05 , 5F053HH07 , 5F053HH10 , 5F053JJ01 , 5F053LL10 , 5F053RR05 , 5F110AA01 , 5F110CC07 , 5F110DD05 , 5F110DD13 , 5F110EE08 , 5F110FF02 , 5F110GG05 , 5F110GG41 , 5F110HK02 , 5F110HK32

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