特許
J-GLOBAL ID：201303051397398716

欠陥検査装置

発明者：
島田 義則

島田 義則 について

, 
オレグ コチャエフ

オレグ コチャエフ について


出願人/特許権者：
公益財団法人レーザー技術総合研究所

公益財団法人レーザー技術総合研究所 について


代理人 (3件)： 鎌田 文二 ,  東尾 正博 ,  田川 孝由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-165218
公開番号（公開出願番号）：特開2013-029399
出願日： 2011年07月28日
公開日（公表日）： 2013年02月07日
要約：
【課題】振動環境下において干渉縞の振動を抑制して、精度良く検査対象物中の内部欠陥を検出すること。【解決手段】検査対象物Mの表面に衝撃波を生じさせる加熱用レーザー1と、前記衝撃波を検出する検出用レーザー2を備える。この検出用レーザー2は、第一検出用レーザー2aと第二検出用レーザー2bに分岐され、両検出用レーザー2a、2bは、検査対象物Mの異なる位置にそれぞれ照射される。また、第一検出用レーザー2a照射位置に加熱用レーザー1が照射される。検査対象物Mと測定装置が相対的に振動しても、両検出用レーザー2a、2bがともに検査対象物Mに照射されるため、前記振動が相殺されて、両検出用レーザー2a、2bによって形成された干渉縞が変位することなく安定する。このため、前記衝撃波に伴う干渉縞の変位を精度良く測定することができ、検査対象物M中の内部欠陥Vを高感度に検出することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査対象物(M)の表面に衝撃波を生じさせる加熱用レーザー(1)と、この加熱用レーザー(1)によって前記検査対象物(M)に生じた衝撃波を検出する検出用レーザー(2)と、前記表面によって反射された検出用レーザー(2)を検出する光検出器(17)とを備え、 前記検出用レーザー(2)を、第一検出用レーザー(2a)と第二検出用レーザー(2b)の二つに分岐して、前記表面の異なる位置にそれぞれ照射し、前記表面によって反射された前記第一及び第二検出用レーザー(2a、2b)を干渉光路(12)に導いて干渉させた干渉縞(18)の変位を前記光検出器(17)で検出して前記検査対象物(M)内の欠陥の有無を判定する欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01N 29/00 ,  G01N 21/45
FI (2件)：
G01N29/00 501 ,  G01N21/45 A
Fターム (24件)：
2G047AA10 ,  2G047BA03 ,  2G047BC07 ,  2G047CA04 ,  2G047GD01 ,  2G047GG29 ,  2G047GG41 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE16 ,  2G059GG01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK02 ,  2G059KK03 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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