特許
J-GLOBAL ID：200903002759633952

干渉縞安定化装置およびそれを用いた非破壊検査装置

発明者：
島田 義則

島田 義則 について

, 
オレグ コチャエフ

オレグ コチャエフ について


出願人/特許権者：
財団法人レーザー技術総合研究所

財団法人レーザー技術総合研究所 について


代理人 (2件)： 西川 惠清 ,  森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-192248
公開番号（公開出願番号）：特開2009-030996
出願日： 2007年07月24日
公開日（公表日）： 2009年02月12日
要約：
【課題】参照光と検査対象物で反射され周波数変調された信号光との干渉縞を安定化することが可能な干渉縞安定化装置、および検査対象物の内部欠陥の検出精度の向上が可能な非破壊検査装置を提供する。【解決手段】非破壊検査装置は、検出用レーザ11と、弾性波励起用レーザ21と、信号光と参照光とを干渉させ検査対象物Obの振動を検出する振動検出手段30と、干渉縞安定化装置40とを備える。干渉縞安定化装置40は、信号光から分岐された補正用信号光と参照光から分岐された補正用参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出手段41と、補正用参照光を分岐する前の参照光の光路上に配設され参照光の波面を制御する波面制御用ミラー42と、干渉縞検出手段41により検出される干渉縞の安定状態からの位相シフトを抑制するように波面制御用ミラー42の位置を制御する制御手段43とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査対象物で反射され周波数変調された信号光から分岐された補正用信号光と参照光から分岐された補正用参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出手段と、補正用参照光を分岐する前の参照光の光路上に配設され参照光の波面を制御する波面制御用ミラーと、干渉縞検出手段により検出される干渉縞の安定状態からの位相シフトを抑制するように波面制御用ミラーの位置を制御する制御手段とを備えることを特徴とする干渉縞安定化装置。
IPC (5件)：
G01N 29/00 ,  G01N 21/88 ,  G01B 11/22 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/45
FI (5件)：
G01N29/00 501 ,  G01N21/88 Z ,  G01B11/22 G ,  G01N21/00 A ,  G01N21/45 A
Fターム (64件)：
2F065AA25 ,  2F065CC14 ,  2F065DD00 ,  2F065FF52 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065GG08 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL13 ,  2F065LL62 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065RR07 ,  2F065UU07 ,  2G047AA06 ,  2G047AA10 ,  2G047BA03 ,  2G047BC07 ,  2G047CA04 ,  2G047EA10 ,  2G047EA11 ,  2G047GD01 ,  2G047GG29 ,  2G047GG41 ,  2G051AA90 ,  2G051AB06 ,  2G051BA04 ,  2G051BA10 ,  2G051CA02 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC11 ,  2G051CC20 ,  2G051CD03 ,  2G051EA14 ,  2G051EC04 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE16 ,  2G059GG01 ,  2G059GG05 ,  2G059GG06 ,  2G059GG08 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059HH09 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01 ,  2G059PP05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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