質量分析装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：磯野道造 , 多田悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-126926
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251218
出願日： 2012年06月04日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：

【課題】測定試料の交換が容易で、キャリーオーバーを抑制できる質量分析装置100を提供する。【解決手段】イオン化された試料ガスを分離する質量分析部102と、質量分析部102からの差動排気によって内部が減圧され試料ガスをイオン化するイオン源101と、測定試料を気化して試料ガスを発生させる試料容器17と、試料容器17で発生した試料ガスをイオン源101へ導入する細管11と、試料容器17と細管11を接続し開閉自在の弾性チューブ12と、弾性チューブ12を挟むように弾性チューブ12を閉じたり開いたりする一対の堰13a、13bと、試料容器17と細管11と弾性チューブ12とを一体化し一括して本体から着脱可能なカートリッジ8とを有する。試料容器17は、カートリッジ8の脱離状態のときに、カートリッジ8に対して着脱可能である。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

イオン化された試料ガスを分離する質量分析部と、前記質量分析部からの差動排気によって内部が減圧され、前記試料ガスをイオン化するイオン源と、測定試料が入れられ前記測定試料を気化して前記試料ガスを発生させる試料容器と、前記試料容器で発生した前記試料ガスを、前記イオン源へ導入する細管と、前記試料容器と前記細管を接続し、開閉自在の弾性チューブと、前記弾性チューブを挟むように前記弾性チューブを閉じたり開いたりする堰と、前記試料容器と前記細管と前記弾性チューブとを、一体化し、一括して本体から着脱可能なカートリッジとを有することを特徴とする質量分析装置。

IPC (3件)：

H01J 49/04 , H01J 49/42 , G01N 27/62

FI (4件)：

H01J49/04 , H01J49/42 , G01N27/62 F , G01N27/62 G

Fターム (14件)：

2G041CA01 , 2G041DA07 , 2G041DA13 , 2G041GA08 , 2G041GA13 , 2G041GA14 , 2G041GA16 , 2G041GA17 , 2G041GA22 , 5C038EE01 , 5C038EF02 , 5C038EF26 , 5C038EF29 , 5C038JJ06

引用特許：

審査官引用 (1件)

質量分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-249260 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

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