特許
J-GLOBAL ID：201303052552698086
基板検査装置および基板検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-123119
公開番号（公開出願番号）：特開2013-174624
出願日： 2013年06月11日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
要約：
【課題】基板検査装置および基板検査方法を提供すること。【解決手段】基板検査装置は、基板を支持するステージと、光源および格子素子を含み、前記格子素子を移送して格子紋照明を前記基板に照射する投影部と、一番のラインから最後のラインまで順次オープンして前記基板によって反射される反射格子イメージを受信するカメラを含み、前記格子素子は少なくとも前記一番のラインから最後のラインまでオープンされる区間期間に移送されることを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板を支持するステージと、
光源および格子素子を含み、前記格子素子を移送して格子紋照明を前記基板に照射する投影部と、
一番のラインから最後のラインまで順次オープンして前記基板によって反射される反射格子イメージを受信するカメラを含み、
前記格子素子は少なくとも前記一番のラインから最後のラインまでオープンされる区間期間に移送されることを特徴とする基板検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (24件)：
2F065AA53
, 2F065BB01
, 2F065DD06
, 2F065FF06
, 2F065FF09
, 2F065FF41
, 2F065GG03
, 2F065GG07
, 2F065GG17
, 2F065GG24
, 2F065HH06
, 2F065HH07
, 2F065HH12
, 2F065HH14
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL41
, 2F065MM03
, 2F065NN05
, 2F065NN12
, 2F065PP12
, 2F065QQ24
, 2F065QQ31
審査官引用 (5件)
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基板検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-152204
出願人：シャープ株式会社
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検査装置及び検査方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-208940
出願人：シーケーディ株式会社
-
三次元形状測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2007-067634
出願人：船井電機株式会社, 公立大学法人大阪市立大学
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