X線検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮園博一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-002364
公開番号（公開出願番号）：特開2013-142585
出願日： 2012年01月10日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：

【課題】X線検査の妨げとなる構成部品などを極力排除しつつ、X線撮像画像を正確に取得することが可能なX線検査装置を提供する。【解決手段】X線検査装置は、X線を用いて基板1を撮像するX線撮像部と、水平面内における基板1の第1方向(X方向)の端部1cおよび端部1dの各々よりも外側(撮像領域の外側)に配置され、基板1がX線撮像部により撮像される際に、水平面と直交する上下方向(Z方向)に昇降して基板1を支持するように構成された昇降機構部66aおよび66bを含む一対のバックアップ支持機構部60とを備える。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

X線を用いて検査対象物を撮像するX線撮像部と、水平面内における前記検査対象物の第1方向の端部近傍または前記端部よりも外側に配置され、前記検査対象物が前記X線撮像部により撮像される際に、水平面と直交する上下方向に昇降して前記検査対象物を支持するように構成された昇降機構部を含むバックアップ支持機構部とを備える、X線検査装置。

IPC (2件)：

G01N 23/04 , H05K 3/00

FI (2件)：

G01N23/04 , H05K3/00 Q

Fターム (14件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA09 , 2G001JA12 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA01 , 2G001PA02 , 2G001PA11 , 2G001PA14 , 2G001SA14

引用特許：

出願人引用 (5件)

半田付状態のX線検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-308801 出願人：松下電器産業株式会社
多自由度位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-079543 出願人：廣瀬和也
印刷検査方法および印刷検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-195221 出願人：ヤマハ発動機株式会社, エヌエスエレクトロニクス株式会社

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審査官引用 (5件)

印刷検査方法および印刷検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-195221 出願人：ヤマハ発動機株式会社, エヌエスエレクトロニクス株式会社
半田付状態のX線検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-308801 出願人：松下電器産業株式会社
多自由度位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-079543 出願人：廣瀬和也

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