特許

J-GLOBAL ID：201303053362665137

3次元構造体の製造方法

発明者： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  星野 一憲 ,  野田 堅太郎 ,  蜂谷 修二 ,  吉田 英博 ,  小林 昌市 ,  中村 徹
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学 ,  パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 田中 光雄 ,  山田 卓二 ,  岡部 博史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-010290
公開番号（公開出願番号）：特開2007-218906
特許番号：特許第4921185号
出願日： 2007年01月19日
公開日（公表日）： 2007年08月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 犠牲層上に固定された可動構造を有する複数の微小3次元構造体要素と、上記犠牲層への上記それぞれの微小3次元構造体要素の固定部を、膜状弾性体内に配置し、 上記犠牲層を除去して、上記各々の微小3次元構造体要素の固定部を互いに物理的に独立して上記膜状弾性体内に配置された3次元構造体を製造する、3次元構造体の製造方法。

IPC (7件)：

G01L 5/16 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  B81C 1/00 ( 200 6.01) ,  G01P 15/18 ( 200 6.01) ,  G01P 15/12 ( 200 6.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01) ,  G01L 5/00 ( 200 6.01)

FI (7件)：

G01L 5/16 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G01P 15/00 K ,  G01P 15/12 D ,  H01L 29/84 Z ,  G01L 5/00 101 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ハンド又はマニピュレータによる物体把持制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-062809   出願人：学校法人慶應義塾
• 3次元構造体の組立方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-009689   出願人：東京大学長

審査官引用 (2件)

• ハンド又はマニピュレータによる物体把持制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-062809   出願人：学校法人慶應義塾
• 3次元構造体の組立方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-009689   出願人：東京大学長

引用文献：

出願人引用 (1件)

• “300nm-thick cantilevers in PDMS for tactile sensing”

審査官引用 (1件)

• “300nm-thick cantilevers in PDMS for tactile sensing”