特許
J-GLOBAL ID：201303053644968191
ウェーハ研磨ヘッド
出願人/特許権者：
不二越機械工業株式会社
不二越機械工業株式会社 について
代理人 (2件)： 綿貫 隆夫 , 堀米 和春
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-319376
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134447
特許番号：特許第4818505号
出願日： 2000年10月19日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 定盤に貼付された研磨布の研磨面に近接可能に設けられた本体部と、前記本体部内に出入可能に設けられ、ウェーハの被研磨面が前記研磨面に対向するように前記ウェーハを保持するウェーハ保持盤とを具備し、前記本体部が前記研磨布の研磨面に近接した際に、前記ウェーハの被研磨面が前記研磨布の研磨面に所定の荷重で押し付けられて研磨されるように、前記ウェーハ保持盤が前記本体部から押出されるウェーハ研磨ヘッドにおいて、
該本体部には、前記ウェーハの被研磨面を前記研磨布の研磨面に所定の荷重で押し付けて研磨する際に、前記ウェーハの被研磨面によって押圧される前記研磨布の押圧面の周縁面を、前記押圧面と同一面となるように、前記研磨布の研磨面を押圧して修正する修正部材が、前記ウェーハ保持盤を囲むように設けられ、
且つ前記ウェーハ保持盤及び修正部材の各々は、前記定盤の研磨布を押圧する押圧量を互いに独立して調整可能となるように、前記本体部に装着されていると共に、
前記修正部材の前記研磨面に対して平行方向への揺れ止めを図る揺れ止め部材が設けられ、該揺れ止め部材は、研磨ヘッドの本体部にウェーハ保持盤を吊持する装着部材から延出されて形成され、
第1弾性膜体によって前記修正部材上部が前記本体部に吊持され、
前記第1弾性膜体とは別体の第2弾性膜体が、前記修正部材中途部と前記本体部とに固着されて、前記揺れ止め部材として該修正部材の揺れ止めを図り、
前記第1弾性膜体の上面と前記本体部の内壁面とによって囲まれた空間部に、加圧手段から圧縮空気を供給して、前記修正部材の前記研磨布方向への押出量を調整することを特徴とするウェーハ研磨ヘッド。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
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