特許
J-GLOBAL ID：201303054448985211
マイクロ回折方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-033043
公開番号（公開出願番号）：特開2013-178246
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
【課題】X線回折により試料を測定するための改良された技術を提供する。【解決手段】このX線回折の方法は、試料の表面上に照射ストリップ16に沿ってX線ビーム4を照射する。X線は試料によって回折され、前記ストリップ16に実質的に直交して延びるスリットを有するマスク20を通る。このX線は、前記ストリップ16に沿う異なる位置において回折されたX線を検出するための2次元X線検出器22によって検出される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料表面を有する試料を測定するためのX線回折法であって、
前記試料の表面のy方向に沿って延びる照射ストリップに沿ってX線ビームを照射するステップと;
前記照射ストリップに沿う試料によって回折されるX線を、前記試料と2次元X線検出器の間に配置され、前記y方向に実質的に直交する方向に延びるスリットを持つマスクを通過させ、前記照射ストリップに沿う異なる位置から回折されるX線が前記2次元X線検出器上のy方向に沿う異なる位置において受光されるようにするステップと;
前記2次元X線検出器におけるy方向に沿う異なる位置が、前記照射ストリップに沿う異なる位置に対応し、前記2次元X線検出器上のライン方向に直交する方向z’における異なる位置が、異なる回折角2θに対応するように、前記2次元X線検出器において前記試料から回折されるX線を検出するステップ、
を有するX線回折方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001GA13
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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